探針方法測電阻率ppt課件-閱讀頁
2025-05-20 18:45本頁面
【正文】 輸 入插座 調(diào) 零 細調(diào) 調(diào) 零粗 調(diào) 電 流 調(diào)節(jié) 電 源開關(guān) 1電 流 選擇 開關(guān) 1極性開關(guān)? 測量電阻時，可以按表所示的電壓電流量程進行選擇。再將極性開關(guān)撥至下方（負極性），按下電流開，讀出測量值，將兩次測量值取平均，即為樣品在該處的電阻率值?！睒O性發(fā)出閃爍信號，則測量數(shù)值已超過此電壓量程，應(yīng)將電壓量程開關(guān)撥到更高檔，讀數(shù)后退出電流開關(guān)，數(shù)字顯示恢復(fù)到零位。五 注意事項電流量程開關(guān)與電壓量程開關(guān)必須放在下表所列的任一組對應(yīng)的量程電壓量程2V 200mV20mV2mVmV電流量程100mA10mA1mA100μA10μA 電阻（ V/I）測量，用四端測量夾換下回探針測試架，按下圖接好樣品，選擇合適的電壓電流量程，電流值調(diào)到 ，讀出數(shù)值為實際測量的電阻值。薄片電阻率測量：當(dāng)薄片厚度 ，按公式（ 3）進行；當(dāng)薄片厚度 時，按公式（ 4）進行。六 技術(shù)參數(shù)１．測量范圍 電阻率： 104~103Ω–cm；方塊電阻： 103~104Ω；電阻： 106~105Ω；２．四探針測試探頭：探針間距：１ mm；游移率： 17
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