博愛校區(qū)奈米中心考核手冊doc(編輯修改稿)
2025-08-13 23:58 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 (博愛校區(qū)駐警隊)◎：5565行動0939000793。 bench有個HF回收槽，傾倒HF時須注意開關是否打開(平 行於管路)，哪時不能再到HF下去?232。打開wet bench下面的門，如果裡面HF回收液的桶子滿了，就不可以再倒。 bench 只可以使用什麼溶液? 232。酸性溶液(去再確認一次)有酸性槽，但無酸鹼藥品存放櫃；沒有有機槽，但有有機存放櫃 ：氮氣和CDA(管路) 二樓只提供什麼氣體：氮氣、CDA(管路)、Ar和CO2(鋼瓶)。 ？ 由上到下：一般排氣232。酸性排氣232。有機排氣一樓重點提醒:新無塵衣與舊無塵衣的確切位置。進吹氣室時，雙手舉高並旋轉。若要在酸櫃使用HF，可去2F拿取有機儲存櫃是公用的，可自由拿取。(2F蝕刻區(qū))Hood 基本認知和使用方式:2F wetbench主要有四個，酸鹼和有機槽分別各有2個，使用酸鹼藥品時需在酸鹼wetbench，使用有機藥品時需在有機wetbench，需瞭解wetbench的燈光開關、氣鎗使用、純水使用、抽氣裝置，使用後需保持清潔，並隨時將Hood的門拉下。擁締鳳襪備訊顎輪爛薔報贏無貽鰓閎。補充 bench 燈的開關在上面右邊那個開關。左邊開關為鼓風槽的，不可打開。 bench有無抽氣232。用無塵紙試之。，而酸鹼的反應又常為高溫，兩者在一起有機會產(chǎn)生爆炸。贓熱俁閫歲匱閶鄴鎵騷鯛漢鼉匱鯔潰。有機和酸鹼存放櫃中藥品放置位置：取用藥品前須知藥品擺放位置，其藥品櫃中的擺放如下所示，以及廢液傾倒方法為有機廢液請倒入213室wetbench最右邊及216室有機廢液注入口中(有含金屬物必須用濾紙過濾雜質(zhì))，酸鹼廢液請倒入酸鹼槽中(需冷卻並至少小於50176。C)，含氯等有機廢液請倒入特別的含氯廢液桶中(自行回收)，含HF酸鹼廢液請倒入特別的廢液
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