微電子工藝基礎(chǔ)緒論-資料下載頁
2025-01-01 14:28本頁面
【正文】 制備的介質(zhì)薄膜厚度也在納米量級 ， 而 精度更在上述尺度之上 。 ?超純 指工藝材料方面 ， 如襯底材料 Si、 Ge單晶 純度達 11個 9。 ?超凈 環(huán)境 、 操作者 、 工藝三個方面的超凈 ， 如 VLSI在 100級超凈室 、 10級超凈臺中制作 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 一、微電子產(chǎn)業(yè) 微電子工藝的發(fā)展概況 （ 4）微電子工藝的特點 ?大批量 、 低成本 圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)使之得以實現(xiàn) ?高溫 多數(shù)關(guān)鍵工藝是在高溫下實現(xiàn) ， 如：熱氧化 、 擴散 、 退火 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 一、微電子產(chǎn)業(yè) 微電子業(yè)在國民經(jīng)濟中的作用 * 半導體工業(yè)的誕生 * 分立器件、集成電路 *** 微電子工藝的發(fā)展 **** ? 微電子產(chǎn)業(yè)的分類 *** 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 一、微電子產(chǎn)業(yè) 微電子產(chǎn)業(yè)的分類 目前主要是兩類： （ 1） 晶圓代工廠 （ Manufacturer） （ 2） 設(shè)計公司 （ Fabless） 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 一、微電子產(chǎn)業(yè) ?二、芯片制造／生產(chǎn)的幾個階段 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 二、芯片制造 /生產(chǎn)的幾個階段 固態(tài)器件的制造分為 4個大的階段 （ 粗線條 ） ： ① 材料制備 ② 晶體生長 /晶圓準備 ③ 晶圓制造 、 芯片生成 （ 本課程 側(cè)重點 ） ④ 封裝 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 二、芯片制造 /生產(chǎn)的幾個階段 材料準備 （ 以 Si為例 ） Si以沙子為原料 ， 通過轉(zhuǎn)化可成為具有多晶 Si結(jié)構(gòu)的純凈 Si。 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 二、芯片制造 /生產(chǎn)的幾個階段 晶體生長 /晶圓準備 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 二、芯片制造 /生產(chǎn)的幾個階段 晶圓制造 、 芯片生成 （ 本課程的側(cè)重點 ） 通過晶圓電測來檢查是否符合客戶的要求 。 在其表面上形成器件或者集成電路 。 每個圓片上可以有 200300個同樣的器件 ， 也可多至幾千個 。 涉及氧化 ， 光刻 ， 淀積等工藝。 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 二、芯片制造 /生產(chǎn)的幾個階段 封裝 絕大多數(shù)的芯片是被單個地封裝起來的 ， 應意識到混合電路 ， 多芯片模塊 （ MCM） 正日趨增加 。 通過一系列的過程把晶圓上的芯片分割開 ， 然后將它們封裝起來 。 作用 ： 保護芯片免于污染和外來傷害 ， 并提供堅固耐用的電氣引腳以和電路板或電子產(chǎn)品相連 。 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 第 1章 緒論 三、作業(yè) 描述分立器件和集成電路的區(qū)別 列舉出幾種 pn結(jié)的形成方法并說出平面工藝的特點 制造半導體器件的四個階段 解釋集成度的概念并根據(jù)集成度將集成電路分類 微電子工藝的特點 說明工藝及產(chǎn)品趨勢 微電子工業(yè)基礎(chǔ) 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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