chap5物理氣相沉積(編輯修改稿)
2025-02-02 14:19 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 。 ? （ 3） 基板及加熱：放置襯底 ， 對襯底加熱裝置及測量裝置 。 ? 真空蒸發(fā)法過程 ： ? （ 1） 加熱蒸發(fā)過程 ? （ 2） 氣化原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間的輸運過程 ? （ 3）被蒸發(fā)的原子或分子在襯底表面的淀積過程 10 蒸發(fā)原理圖 11 ? 二 、 汽化熱和蒸汽壓 ? 三 、 真空度與分子平均自由程 ? 四 、 多組成薄膜的蒸發(fā)方法 ? 單源蒸發(fā)法：單源 ， 合金溶液 ? 多源同時蒸發(fā)法：多坩堝 ， 同時蒸發(fā) ? 多源順序蒸發(fā)法：多坩堝 ， 按順序蒸發(fā) 12 蒸發(fā)源 ? ? 利用電流通過加熱源時所產(chǎn)生能夠的焦耳熱來蒸發(fā)材料 。 ? 蒸發(fā)中出現(xiàn)的質(zhì)量問題： ? （ 1） 鋁層厚度控制不合適 ? 鋁層厚度是蒸鋁工藝中一個主要的參數(shù) 。 太薄 ，在鍵合工序容易開焊造成半導(dǎo)體器件或集成電路斷路 ， 嚴(yán)重影響成品率 。 如果太厚 ， 電極圖形看不清 ， 增加了光刻難度 。 腐蝕時間一長 ， 容易造成脫膠 ， 鉆蝕現(xiàn)象 。 13 （ 2）鋁層表面氧化 蒸鋁后出現(xiàn)鋁層發(fā)黃或發(fā)灰，這說明表面被氧化及其他合金物出現(xiàn)，楊畫冊鋁層 不僅難以光刻核鍵合，而且影響器件性能。 造成鋁層氧化有以下原因： 1）鎢絲純度不夠，雜質(zhì)含量太多或清潔處理得不夠； 2）真空度低或真空零件不干凈； 3）蒸發(fā)時擋板打開的過早，即在，鋁溶液表面的氧化層還未去掉時就開始蒸發(fā)。因而把贓物也蒸發(fā)上去了； 4）襯底加熱溫度較高，并且取片過快； 5）擴(kuò)散泵抽氣率不高，在蒸發(fā)時，各部分加熱后放出的氣體未及時抽走； 6）真空系統(tǒng)中出現(xiàn)慢性漏氣。 14 ? ? (1)基于電子在電場
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