化學(xué)氣相沉積ppt課件(2)(編輯修改稿)
2025-02-10 09:49 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 鹵化物（許多鹵化物是氣態(tài)或易揮發(fā)的物質(zhì)） 通入氫氣 ? 反應(yīng)：氫還原反應(yīng) ? 產(chǎn)物：鹵化物中對應(yīng)陽離子單質(zhì)薄膜 化合反應(yīng)沉積 ? 在 CVD技術(shù)中使用最多的反應(yīng)類型是兩種或兩種以上的反應(yīng)原料氣在沉積反應(yīng)器中相互作用合成得到所需要的無機(jī)薄膜或其它材料形式。 ? 常利用氫化物或有機(jī)烷基化合物的不穩(wěn)定性，經(jīng)過熱分解后立即在氣相中和其它原料氣反應(yīng)生成固態(tài)沉積物， 例如： 化學(xué)輸運(yùn)反應(yīng)沉積 ? 利用物質(zhì)本身在高溫下會氣化分解然后在沉積反應(yīng)器稍冷的地方反應(yīng)沉積生成薄膜、晶體或粉末等形式的產(chǎn)物。 煉丹術(shù) ? 一般，輸運(yùn)反應(yīng)中通常是 T2＞ T1，即生成氣態(tài)化合物的反應(yīng)溫度 T 2往往比重新反應(yīng)沉積時的溫度 T1要高一些 . W(s） +2I2（ g） WI4(g） 約 3000℃ （ T1) 1400℃ （ T2) ? 特殊， T1 T2 溴鎢燈、碘鎢燈 化學(xué)輸運(yùn)過程是由低溫向高溫方向進(jìn)行的。 ? 也有的時候原料物質(zhì)本身不容易發(fā)生分解，而需添加另一物質(zhì) (稱為輸運(yùn)劑 )來促進(jìn)輸運(yùn)中間氣態(tài)產(chǎn)物的生成。例如： ? 原料： 是氣態(tài)或易于揮發(fā)成蒸汽的液態(tài)或固態(tài)物質(zhì)。 ? 1）低周期元素的氫化物 ? 2）有機(jī)烷氧基的元素化合物 ? 3）金屬的碳基化合物 ? 4）鹵化物 等離子體增強(qiáng)的反應(yīng)沉積 概念：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是采用高頻電場產(chǎn)生等離子體 ，使反應(yīng)物分解后沉積到基片表面。即以外部電能加到 CVD環(huán)境中，有效地代替一般熱激活 CVD系
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