精密與特種加工技術(shù)第八章電子束加工和離子束加工-文庫吧資料
2025-05-20 19:33本頁面
【正文】 子光學系統(tǒng)進行聚焦掃描，使微離子束的聚焦光斑直徑在 1以內(nèi)進行加工，并能精確控制離子束流密度、深度、含量等，以獲得精密的加工效果，可以對材料實行 “ 原子級加工 ” 或“ 微毫米加工 ” 。該方法所用的是氬 (Ar)離子或其他帶有10keV數(shù)量級動能的惰性氣體離子。例如通過計算機自動控制，可以完成在硅片上加工 ，深 ；在銅制滾筒上可以刻出直徑為70~120，深度為 5~40μm的凹坑。焊接時，可以在金屬熔化區(qū)加入適當?shù)脑?，使焊接區(qū)形成合金層，從而得到比原來金屬更好的物理力學性能。 9 3. 熱處理 電子束熱處理也是把電子束作為熱源，但適當控制電子束的功率密度，使金屬表面加熱而不熔化，達到熱處理的目的。電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝，焊接過程不需要填充物 (焊條 )，焊接過程又是在真空中完成。打孔的速度主要取決于板厚和孔徑，通常每秒可加工幾十至幾萬個孔，而且有時還可以改變孔徑。目前，電子束打孔的最小直徑已達 1。 6 電子束加工設(shè)備 電子束加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)如 下圖所示，它主要由電子槍、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分組成。由于電子束加工是在真空中進行，因而污染少，加工表面不氧化，特別適用于加工易氧化的金屬及合金材料，以及純度要求極高的半導體材料。電子束的能量密度高，而且能量利用率可達 90%以上，所以加工生產(chǎn)率很高。位置控制精度能準確到 ，強度和斑束尺寸可達到 1%的控制精度。 (3) 可
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