精密與特種加工技術(shù)第八章電子束加工和離子束加工-wenkub
2023-05-23 19:33:13 本頁面
【正文】 強(qiáng)度控制板； 8 — 束流聚焦控制； 9 — 束流位置控制； 10 — 更換工件用截止閥； 11 — 電子束； 12 — 工件；13 — 驅(qū)動電動機(jī)； 14 — 抽氣 7 電子束加工應(yīng)用 1. 打孔 電子束打孔已在生產(chǎn)中實(shí)際應(yīng)用。 (5) 無污染。可以通過磁場或電場對電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行直接控制，可加工出斜孔、彎孔及特殊表面，便于實(shí)現(xiàn)自動化生產(chǎn)。能達(dá)到 107~109W/cm2，使照射部分的溫度超過材料的熔化和汽化溫度。 3 電子束加工原理示意圖 1 — 高速加壓； 2 — 電子槍； 3 — 電子束； 4 — 電磁透鏡； 5 — 偏轉(zhuǎn)器； 6 — 反射鏡； 7 — 加工室； 8 — 工件； 9 — 工作臺及驅(qū)動系統(tǒng)； 10 — 窗口； 11 — 觀察系統(tǒng) 4 電子束加工的特點(diǎn) 電子束加工有如下特點(diǎn)： (1) 束斑極小。由于光斑直徑極小 (其直徑在微米級或更小 )，在轟擊處形成局部高溫，可使被沖擊部分的材料在幾分之一微秒內(nèi)，溫度升高到幾千攝氏度以上，使材料局部快速汽化、蒸發(fā)而實(shí)現(xiàn)加工目的。所以電子束加工是通過熱效應(yīng)進(jìn)行的。由于電子束能夠極其微細(xì)地聚焦，甚至聚焦到 ，加工面積可以很小，是一種精密微細(xì)的加工方法。去除材料主要靠瞬時蒸發(fā)，是一種非接觸式加工。位置控制精度能準(zhǔn)確到 ，強(qiáng)度和斑束尺寸可達(dá)到 1%的控制精度。由于電子束加工是在真空中進(jìn)行，因而污染少，加工表面不氧化，
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