電離子束加工ppt課件-文庫吧資料
2025-05-07 18:14本頁面
【正文】 如果離子能量足夠大并垂直工件表面撞擊時(shí) ， 離子就會鉆進(jìn)工件表面 離子的注入效應(yīng) 。 離子刻蝕 (離子銑削 ) 、 離子濺射沉積 和離子鍍 ① 離子刻蝕 (離子銑削 ) ： 如果將工件直接作為離子轟擊的靶材 ， 工件表面就會受到離子刻蝕 (也稱離子 銑削 )。 離子束比電子束具有更大的撞擊動能 。 質(zhì)量比電子大數(shù)千 、 數(shù)萬倍 ， 如氬離子的質(zhì)量是電子的 萬倍 。 一 離子束加工原理 、 分類和特點(diǎn) 二 離子束加工裝置 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工 一 離子束加工原理、分類和特點(diǎn) ⒈ 離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) ⑴ 離子束加工的原理： 離子束加工的原理是在真空條件下 ， 將離子源產(chǎn)生的離子束 經(jīng)過加速聚焦 ， 使之撞擊到工件表面 ， 靠微觀的機(jī)械撞擊 能量來加工的 。 （ 1）電子槍 （ 2） 真空系統(tǒng) （ 3）控制系統(tǒng)和電源 第一節(jié) 電子束加工 電子束加工按其功率密度和能量注入時(shí)間的不同 ， 可用于 打孔 切割 蝕刻 焊接 熱處理 光刻加工等 。 ? 電子束加工需要一套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)。 ? 電子束加工是在真空中進(jìn)行，污染少。 第一節(jié) 電子束加工 ? ⒉ 電子束加工的特點(diǎn)： ? ⑷ 整個(gè)加工過程便于實(shí)現(xiàn)自動化 ? 可以通過磁場或電場對電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1