電離子束加工ppt課件(更新版)
【正文】 注入效應(yīng) 。 一 離子束加工原理 、 分類和特點 二 離子束加工裝置 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工 一 離子束加工原理、分類和特點 ⒈ 離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) ⑴ 離子束加工的原理： 離子束加工的原理是在真空條件下 ， 將離子源產(chǎn)生的離子束 經(jīng)過加速聚焦 ， 使之撞擊到工件表面 ， 靠微觀的機(jī)械撞擊 能量來加工的 。 第一節(jié) 電子束加工 ? ⒉ 電子束加工的特點： ? ⑷ 整個加工過程便于實現(xiàn)自動化 ? 可以通過磁場或電場對電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行直接控制。 ? ⑴電子束熱處理： ? 只使材料局部加熱就可進(jìn)行電子束熱處理 ? ⑵電子束熱焊接： ? 使材料局部熔化就可進(jìn)行電子束熱焊接 ? ⑶電子束打孔、切割等加工： ? 提高電子束能量密度，使材料熔化和氣化就可進(jìn)行電子束打孔、切割等加工 ? ⑷電子束光刻加工： ? 利用較低能量密度的電子束轟擊高分子材料時產(chǎn)生化學(xué)變化的原理，即可進(jìn)行電子束光刻加工。 ? ⑵非接觸式加工。 ? ⑹ 價格較貴，生產(chǎn)應(yīng)用有一定局限性。 ② 靠微觀的機(jī)械撞擊能量來加工的 。 ? ⑵污染少，特別適用于對易氧化的金屬、合金材料和高純度半導(dǎo)體材料的加工。當(dāng)離子束轟擊工件，入射離子的動量傳遞到工件表面的原子，傳遞能量超過了原子間的鍵合力時，原子就從工件表面撞擊濺射出來，達(dá)到刻蝕的目的。 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1