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電離子束加工ppt課件(參考版)

2025-05-04 18:14本頁面
  

【正文】 三 離子束加工的應用 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 ⒊ 離子注入加工 離子注入是向工件表面直接注入離子,它不受熱力學限制,可以注入任何離子,且注入量可以精確控制,注入的離子是固溶在工件材料中,含量可達 10% 40%,注入深度可達 1um甚至更深。 三 離子束加工的應用 第二節(jié) 離子束加工 ⒉ 鍍膜加工 離子鍍膜加工有濺射沉積和離子鍍兩種。 ③ 刻蝕高精度的圖形 , 如集成電路 、 聲表面波器件 、 磁泡器件 、 光電器件和光集成器件等微電子學器件亞微米圖形 。 第二節(jié) 離子束加工 三 離子束加工的應用 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 ⒈ 刻蝕加工 ① 離子刻蝕用于加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達上的溝槽 , 分辨 率高 , 精度 、 重復一致性好 。 第二節(jié) 離子束加工 三 離子束加工的應用 ⒈ 刻蝕加工 離子刻蝕是從工件上去除材料,是一個撞擊濺射過程。 主要的不同部分是離子源系統(tǒng) 。 一 離子束加工原理、分類和特點 第二節(jié) 離子束加工 離子源 、 真空系統(tǒng) 、 控制系統(tǒng)和電源等部分組成 。 ? ⑶加工應力、熱變形等極小,加工質量高,適合于對各種材料和低剛度零件的加工。 一 離子束加工原理、分類和特點 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 ? ⒊ 離子束加工的特點 ? ⑴離子束加工是所有特種加工方法中最精密、最微細的加工方法,是納米加工技術的基礎。 2)注入效應 :
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