《電離子束加工》ppt課件-預(yù)覽頁
【正文】 等加工： ? 提高電子束能量密度，使材料熔化和氣化就可進(jìn)行電子束打孔、切割等加工 ? ⑷電子束光刻加工： ? 利用較低能量密度的電子束轟擊高分子材料時(shí)產(chǎn)生化學(xué)變化的原理，即可進(jìn)行電子束光刻加工。 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 ? 控制電子束能量密度的大小和能量注入，就可以達(dá)到不同的加工目的。 ? ⑵非接觸式加工。 ? ⑶加工生產(chǎn)率很高 ? 能量密度高，每秒鐘可以在 ㎜ 厚的鋼板上加工 50個(gè) ? 直徑為 ㎜ 的孔。 ? ⑹ 價(jià)格較貴，生產(chǎn)應(yīng)用有一定局限性。 第一節(jié) 電子束加工 （ 1）高速打孔 （ 2）加工型孔及特殊表面 （ 3） 電子束曝光 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 第二節(jié) 離子束加工 離子束加工： 利用離子束對(duì)材料進(jìn)行成形和改性的加工方法 。 ② 靠微觀的機(jī)械撞擊能量來加工的 。 ② 離子濺射沉積和離子鍍 ： 如果將工件放置在靶材附近 ， 靶材原子就會(huì)濺射到工件表面而被濺射沉積吸附 ，使工件表面鍍上一層靶材原子的薄膜 。 ? ⑵污染少，特別適用于對(duì)易氧化的金屬、合金材料和高純度半導(dǎo)體材料的加工。 與電子束加工裝置類似 。當(dāng)離子束轟擊工件，入射離子的動(dòng)量傳遞到工件表面的原子，傳遞能量超過了原子間的鍵合力時(shí)，原子就從工件表面撞擊濺射出來，達(dá)到刻蝕的目的。 ④用來致薄材料，用于致薄石英晶體振蕩器和壓電傳感器。 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工
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