《電離子束加工》ppt課件-文庫吧
2025-04-16 18:14 本頁面
【正文】 焦，甚至能聚焦到 。 ? ⑵非接觸式加工。工件不受機(jī)械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。 ? 脆性、韌性、導(dǎo)體、非導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料都可加工。 ? 照射部分的溫度超過材料的融化和氣化溫度，去除材 ? 料主要靠瞬時蒸發(fā)。 ? ⑶加工生產(chǎn)率很高 ? 能量密度高，每秒鐘可以在 ㎜ 厚的鋼板上加工 50個 ? 直徑為 ㎜ 的孔。 第一節(jié) 電子束加工 ? ⒉ 電子束加工的特點(diǎn)： ? ⑷ 整個加工過程便于實(shí)現(xiàn)自動化 ? 可以通過磁場或電場對電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行直接控制。 ? ⑸ 加工表面不會氧化，特別適用于加工易氧化的金屬及合金材料，以及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。 ? 電子束加工是在真空中進(jìn)行，污染少。 ? ⑹ 價格較貴，生產(chǎn)應(yīng)用有一定局限性。 ? 電子束加工需要一套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)。 第一節(jié) 電子束加工 ： 電子槍、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分組成。 （ 1）電子槍 （ 2） 真空系統(tǒng) （ 3）控制系統(tǒng)和電源 第一節(jié) 電子束加工 電子束加工按其功率密度和能量注入時間的不同 ， 可用于 打孔 切割 蝕刻 焊接 熱處理 光刻加工等 。 第一節(jié) 電子束加工 （ 1）高速打孔 （ 2）加工型孔及特殊表面 （ 3） 電子束曝光 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 第二節(jié) 離子束加工 離子束加工： 利用離子束對材料進(jìn)行成形和改性的加工方
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