電離子束加工ppt課件-文庫吧在線文庫
【正文】 離子注入 ： 利用注入效應(yīng)的離子注入 。 二 離子束加工裝置 ?⒈ 離子刻蝕加工： ? 用于從工件上作去除加工的離子刻蝕加工； ?⒉離子鍍膜加工： ? 用于給工件表面涂覆的離子鍍膜加工； ?⒊離子注入加工： ? 用于表面改性的離子注入加工。離子鍍時(shí)工件不僅接受靶材濺射來的原子，還同時(shí)受到離子的轟擊，具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。 ② 加工非球面透鏡能達(dá)到其他方法不能達(dá)到的精度 。 ? ⑷離子束加工設(shè)備費(fèi)用貴、成本高，加工效率低，應(yīng)用范圍受到一定限制。 第二節(jié) 離子束加工 一 離子束加工原理、分類和特點(diǎn) ⒈ 離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) ⑵ 離子束加工的物理基礎(chǔ)： 離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng) 、 濺射效應(yīng) 、 注入效應(yīng) 1)離子的撞擊效應(yīng)和濺射效應(yīng)： 具有一定動(dòng)能的離子斜射到工件材料 (或靶材 )表面時(shí) ， 可以將表面的原子撞擊出 來 ， 這就是離子的撞擊效應(yīng)和濺射效應(yīng) 。 第一節(jié) 電子束加工 ： 電子槍、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分組成。 ? 脆性、韌性、導(dǎo)體、非導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料都可加工。第六章 電子束和離子束加工 電子束加工 （ Electron Beam Machining， EBM） 離子束加工 （ Ion Beam Machining， IBM） 精密微細(xì)加工 ， 微電子學(xué)領(lǐng)域中得到較多的應(yīng)用 電子束加工：打孔 、 焊接等熱加工 、 光刻化學(xué)加工 離子束加工：離子刻蝕 、 離子鍍膜 、 離子注入 第一節(jié) 電子束加工 ⒈ 電子束加
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