電離子束加工ppt課件(完整版)
【正文】 工的原理： 電子束加工是在真空條件下 ， 利用聚焦后能量密度極高 （ 106～ 109W/㎝ 2）的電子束 ， 以極高的速度沖擊到工件表面極小面積上 ， 在極短的時(shí)間 （ 幾分之一微秒 ） 內(nèi) ， 其能量的大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?， 使被沖擊部分的工件材料達(dá)到幾千攝氏度以上的高溫 ，從而引起材料局部熔化和氣化 ， 被真空系統(tǒng)抽走 。 ? 照射部分的溫度超過(guò)材料的融化和氣化溫度，去除材 ? 料主要靠瞬時(shí)蒸發(fā)。 （ 1）電子槍 （ 2） 真空系統(tǒng) （ 3）控制系統(tǒng)和電源 第一節(jié) 電子束加工 電子束加工按其功率密度和能量注入時(shí)間的不同 ， 可用于 打孔 切割 蝕刻 焊接 熱處理 光刻加工等 。 離子刻蝕 (離子銑削 ) 、 離子濺射沉積 和離子鍍 ① 離子刻蝕 (離子銑削 ) ： 如果將工件直接作為離子轟擊的靶材 ， 工件表面就會(huì)受到離子刻蝕 (也稱離子 銑削 )。 一 離子束加工原理、分類和特點(diǎn) 第二節(jié) 離子束加工 離子源 、 真空系統(tǒng) 、 控制系統(tǒng)和電源等部分組成 。 ③ 刻蝕高精度的圖形 ， 如集成電路 、 聲表面波器件 、 磁泡器件 、 光電器件和光集成器件等微電子學(xué)器件亞微米圖形 。 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工 ⒉ 鍍膜加工 離子鍍膜加工有濺射沉積和離子鍍兩種。 主要的不同部分是離子源系統(tǒng) 。 2)注入效應(yīng) ： 如果離子能量足夠大并垂直工件表面撞擊時(shí) ， 離子就會(huì)鉆進(jìn)工件表面 離子的
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