電離子束加工ppt課件-wenkub
2023-05-16 18:14:32 本頁面
【正文】 、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分組成。 ? ⑸ 加工表面不會(huì)氧化，特別適用于加工易氧化的金屬及合金材料，以及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。 ? 脆性、韌性、導(dǎo)體、非導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料都可加工。 第一節(jié) 電子束加工 ? ⒉ 電子束加工的特點(diǎn)： ? ⑴加工面積很小，是一種精密微細(xì)的加工方法。第六章 電子束和離子束加工 電子束加工 （ Electron Beam Machining， EBM） 離子束加工 （ Ion Beam Machining， IBM） 精密微細(xì)加工 ， 微電子學(xué)領(lǐng)域中得到較多的應(yīng)用 電子束加工：打孔 、 焊接等熱加工 、 光刻化學(xué)加工 離子束加工：離子刻蝕 、 離子鍍膜 、 離子注入 第一節(jié) 電子束加工 ⒈ 電子束加工的原理： 電子束加工是在真空條件下 ， 利用聚焦后能量密度極高 （ 106～ 109W/㎝ 2）的電子束 ， 以極高的速度沖擊到工件表面極小面積上 ， 在極短的時(shí)間 （ 幾分之一微秒 ） 內(nèi) ， 其能量的大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?， 使被沖擊部分的工件材料達(dá)到幾千攝氏度以上的高溫 ，從而引起材料局部熔化和氣化 ， 被真空系統(tǒng)抽走 。 ? 電子束能夠極其微細(xì)地聚焦，甚至能聚焦到 。 ? 照射部分的溫度超過材料的融化和氣化溫度，去除材 ? 料主要靠瞬時(shí)蒸發(fā)。 ? 電子束加工是在真空中進(jìn)行，污染少。 （ 1）電子槍 （ 2） 真空系統(tǒng) （ 3）控制系統(tǒng)和電源 第一節(jié) 電子束加工 電子束加工按其功率密度和能量注入時(shí)間的不同 ， 可用于
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