電離子束加工ppt課件(存儲(chǔ)版)
【正文】 向工件表面直接注入離子，它不受熱力學(xué)限制，可以注入任何離子，且注入量可以精確控制，注入的離子是固溶在工件材料中，含量可達(dá) 10％ 40％，注入深度可達(dá) 1um甚至更深。 第二節(jié) 離子束加工 三 離子束加工的應(yīng)用 ⒈ 刻蝕加工 離子刻蝕是從工件上去除材料，是一個(gè)撞擊濺射過(guò)程。 一 離子束加工原理、分類和特點(diǎn) 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 ? ⒊ 離子束加工的特點(diǎn) ? ⑴離子束加工是所有特種加工方法中最精密、最微細(xì)的加工方法，是納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)。 質(zhì)量比電子大數(shù)千 、 數(shù)萬(wàn)倍 ， 如氬離子的質(zhì)量是電子的 萬(wàn)倍 。 ? 電子束加工是在真空中進(jìn)行，污染少。 ? 電子束能夠極其微細(xì)地聚焦，甚至能聚焦到 。 第一節(jié) 電子束加工 ? ⒉ 電子束加工的特點(diǎn)： ? ⑴加工面積很小，是一種精密微細(xì)的加工方法。 ? ⑸ 加工表面不會(huì)氧化，特別適用于加工易氧化的金屬及合金材料，以及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。 與電子束相比： 1)相同點(diǎn)： ① 在真空條件中進(jìn)行 ② 粒子束加工 2)不同點(diǎn)： ① 帶正電荷的離子 。 第二節(jié) 離子束加工 ⒉ 離子束加工分類 離子束加工按照其所利用的物理效應(yīng)和達(dá)到目的的不同 ， 可以分為四類： ⑴ 離子刻蝕 ⑵ 離子濺射沉積 ⑶ 離子鍍 ⑷ 離子注入 離子刻蝕 ， 離子濺射沉積和離子鍍 ： 利用離子撞擊和濺射效應(yīng)
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