電子束離子束加工ppt課件(參考版)
2025-05-04 12:17本頁面
【正文】 離子注入可提高材料的耐腐蝕性能，改善金屬材料的耐磨性能，提高金屬材料的硬度，改善金屬材料的潤滑性能等。用離子鍍方法在切削工具表面鍍氮化鈦、碳化鈦等超硬層，可以提高刀具的耐用度。 第七章 其他特種加工技術(shù) 離子鍍的可鍍材料廣泛，可在金屬或非金屬表面上鍍制金屬或非金屬材料，各種合金、化合物、某些合成材料、半導(dǎo)體材料、高熔點材料等。而后，隨膜層的增厚，逐漸過渡到單純由膜材原子構(gòu)成的膜層。其次是鍍膜剛開始時，由工件表面濺射出來的基材原子，有一部分會與工件周圍氣氛中的原子和離子發(fā)生碰撞而返回工件。離子鍍膜附著力強、膜層不易脫落。離子束刻蝕應(yīng)用的另一個方面是刻蝕高精度的圖形，如集成電路、光電器件和光集成器件等微電子學(xué)器件亞微米圖形。當(dāng)離子束轟擊工件，入射離子的動量傳遞到工件表面的原子，傳遞能量超過了原子間的鍵合力時，原子就從工件表面撞擊濺射出來，達到刻蝕的目的。 在目前的工業(yè)生產(chǎn)中 ， 離子束加工主要應(yīng)用于刻蝕加工 (如加工空氣軸承的溝槽 ， 加工極薄材料等 )、鍍膜加工 (如在金屬或非金屬材料上鍍制金屬或非金屬材料 )、 注入加工 (如某些特殊的半導(dǎo)體器件 )等 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 加工設(shè)備 離子槍：將氣體注入電離室并使其放電，電子與氣體原子發(fā)生碰撞使其被電離，等到等離子體，在負電位引導(dǎo)下將正離子引出，經(jīng)過加速射向靶材或工件。 離子刻蝕可達納米級精度 ， 離子鍍膜可控制在亞微米級精度 ， 離子注入的深度和濃度亦可精確地控制 。 工件表面層含有注入離子后 ，就改變了化學(xué)成分 ， 從而改變了工件表面層的機械物理性能 。 3) 離子鍍 (又稱離子濺射輔助沉積 ) 離子同時轟擊靶材和工件表面 ， 目的是為了增強膜材與工件基材之間的結(jié)合力 。 1) 離子刻蝕 離子
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