電子束離子束加工ppt課件-文庫吧在線文庫
【正文】 射沉積 離子轟擊靶材 ， 將靶材原子擊出 ， 沉積在靶材附近的工件上 ， 使工件表面鍍上一層薄膜 。 真空系統(tǒng) 控制系統(tǒng) 電源系統(tǒng) 第七章 其他特種加工技術(shù) (3) 離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的 ， 是一種微觀作用 ， 所以加工應(yīng)力和變形極小 ，適宜于對各種材料和低剛件零件進行加工 。這首先是由于鍍膜前離子以足夠高的動能沖擊基體表面，清洗掉表面的占污和氧化物，從而提高了工件表面的附著力。 第七章 其他特種加工技術(shù) 3)離子注入加工 離子注入加工是將所要注入的元素進行電離，并將正離子分離和加速，形成具有數(shù)十萬電子伏特的高能離子流，轟擊工件表面，離子因動能很大，被打入表層內(nèi)，其電荷被中和，成為置換原子或晶格間的填隙原子，被留于表層中，使材料的化學(xué)成分、結(jié)構(gòu)、性能產(chǎn)生變化?；旌线^渡層的存在，可以減少由于膜材與基材兩者膨脹系數(shù)不同而產(chǎn)生的熱應(yīng)力，增強了兩者的結(jié)合力，是膜層不易脫落，鍍層組織致密，針孔氣泡少。 離子刻蝕用于加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達上的溝槽，分辨率高，精度、重復(fù)一致性好。 2． 特點及應(yīng)用 離子束加工有如下特點： (1) 離子束加工是目前特種加工中最精密 、 最微細的加工 。離子束加工是靠微觀機械撞擊能量轉(zhuǎn)化為熱能進行的 。電子束刻蝕還可用于刻板，在銅制印刷滾筒上按色調(diào)深淺刻出許多大小與深淺不一樣的溝槽或凹坑，其直徑為 70～ 120μm，深度為 5～ 40μm，小坑代表淺色，大坑代表深色。 (5) 加工在真空中進行 ， 污染少 ， 加工表面不易被氧化 。 在真空條件下 ， 將具有很高速度和能量的電子束聚焦到被加工材料上 ， 電子的動能絕大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?， 使材料局部瞬時熔融 、 汽化
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