電子束離子束加工ppt課件-文庫吧資料
2025-05-07 12:17本頁面
【正文】 轟擊工件 ， 將工件表面的原子逐個(gè)剝離 ， 又稱離子銑削 ， 其實(shí)質(zhì)是一種原子尺度的切削加工 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng) 、 濺射效應(yīng)和注入效應(yīng) 。 所不同的是離子帶正電荷 ， 其質(zhì)量比電子大數(shù)千倍乃至數(shù)萬倍 ， 故在電場(chǎng)中加速較慢 ，但一旦加至較高速度 ， 就比電子束具有更大的撞擊動(dòng)能 。電子束熱處理的加熱速度和冷卻速度都很高，在相變過程中，奧氏體化時(shí)間很短，只有幾分之一秒乃至千分之一秒，奧氏體晶粒來不及長(zhǎng)大，從而能獲得一種超細(xì)晶粒組織，可使工件獲得用常規(guī)熱處理不能達(dá)到的硬度，硬化深度可達(dá) ～ 。 由于電子束的能量密度高，焊接速度快，所以電子束焊接的焊縫深而窄，焊件熱影響區(qū)小，變形小。 第七章 其他特種加工技術(shù) 4）焊接 電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝。如在硅片上刻出寬 ，深 ，在混合電路電阻的金屬鍍層上刻出 40μm寬的線條。電子束打孔還能加工小深孔，如在葉片上打深度 5mm、直徑 ，孔的深徑比大于 10： 1。例如噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)套上的冷卻孔，機(jī)翼的吸附屏的孔。 (6) 電子束加工需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng) ， 價(jià)格較貴 ， 故在生產(chǎn)中受到一定程度的限制 。 (4) 電子束的能量密度高 ， 加工效率很高 。 由于電子束能量密度高 ， 可使任何材料瞬時(shí)熔化 、 汽化且機(jī)械力的作用極小 ， 不易產(chǎn)生變形和應(yīng)力 ， 故能加工各種力學(xué)性能的導(dǎo)體 、 半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料 。 2． 特點(diǎn)與應(yīng)用 電子束加工的特點(diǎn)如下： (1) 電子束能夠極其微細(xì)地聚焦 (可達(dá) l～ μm)，故可進(jìn)行微細(xì)加工 。 第七章
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