章電子束和離子束加工(參考版)
2025-05-03 04:27本頁(yè)面
【正文】 ⒊ 離子注入加工 離子注入是向工件表面直接注入離子，它不受熱力學(xué)限制，可以注入任何離子，且注入量可以精確控制，注入的離子是固溶在工件材料中，含量可達(dá) 10％ 40％，注入深度可達(dá) 1um甚至更深。 動(dòng)壓馬達(dá)上的溝槽 ⒉ 鍍膜加工 離子鍍膜加工有 濺射沉積 和 離子鍍 兩種。 用氬離子轟擊被加工表面時(shí) ， 其效率取決于離子能量 、 入射角度 。當(dāng)離子束轟擊工件，入射離子的動(dòng)量傳遞到工件表面的原子，傳遞能量超過(guò)了原子間的鍵合力時(shí)，原子就從工件表面撞擊濺射出來(lái)，達(dá)到刻蝕的目的。引出電極將正離子導(dǎo)向陽(yáng)極小孔以下的高真空區(qū)( 105— 106Pa)，再通過(guò)靜電透鏡形成密度很高的離子束去轟擊工件表面。 ② 雙等離子體型離子源 如圖 610所示的雙等離子體型離子源是利用陰極和陽(yáng)極之間低氣壓直流電弧放電，將氪或氙等惰性氣體在陽(yáng)極小孔上方的低真空中 (—)等離子體化。 惰性氣體氬在注入口 3注入電離室 10， 在電子的撞擊下被電離成等離子體 ， 陽(yáng)極 9和引出電極 (吸極 )8上各有 300個(gè)直徑為 φ ， 上下位置對(duì)齊 。用一個(gè)相對(duì)于等離子體為負(fù)電位的電極(吸極 )，就可從等離子體中引出正離子束流。 （ 2） 離子束流產(chǎn)生的基本原理：使原子電離 。 與電子束加工裝置 類(lèi)似 ， 主要 的不同部分是離子源系統(tǒng) 。 ? 、成本貴、加工效率低。 ? 。 離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)。 離子鍍： 氬離子 同時(shí)轟擊靶材和工件表面。離子束加工是靠微觀機(jī)械撞擊能量，而不是靠動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能加工的。 第二節(jié) 離子束加工 一、離子束加工原理、分類(lèi)和特點(diǎn) ? 在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)加速、聚焦后投射到工件表面的加工部位以實(shí)現(xiàn)加工。 熱處理 ? 電子束 熱處理的加熱速度和冷卻速度都很高，在相變過(guò)程中，奧氏體化時(shí)間很短，只有幾分之一秒乃至千分之一
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