電離子束加工ppt課件-免費(fèi)閱讀
【正文】 ④用來致薄材料，用于致薄石英晶體振蕩器和壓電傳感器。 與電子束加工裝置類似 。 ② 離子濺射沉積和離子鍍 ： 如果將工件放置在靶材附近 ， 靶材原子就會濺射到工件表面而被濺射沉積吸附 ，使工件表面鍍上一層靶材原子的薄膜 。 第一節(jié) 電子束加工 （ 1）高速打孔 （ 2）加工型孔及特殊表面 （ 3） 電子束曝光 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 第二節(jié) 離子束加工 離子束加工： 利用離子束對材料進(jìn)行成形和改性的加工方法 。 ? ⑶加工生產(chǎn)率很高 ? 能量密度高，每秒鐘可以在 ㎜ 厚的鋼板上加工 50個(gè) ? 直徑為 ㎜ 的孔。 第一節(jié) 電子束加工 第一節(jié) 電子束加工 ? 控制電子束能量密度的大小和能量注入，就可以達(dá)到不同的加工目的。工件不受機(jī)械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。 ? 電子束加工需要一套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)。 離子束比電子束具有更大的撞擊動能 。 ? ⑶加工應(yīng)力、熱變形等極小，加工質(zhì)量高，適合于對各種材料和低剛度零件的加工。 第二節(jié) 離子束加工 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 ⒈ 刻蝕加工 ① 離子刻蝕用于加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達(dá)上的溝槽 ， 分辨 率高 ， 精度 、 重復(fù)一致性好 。 三 離子束加工的應(yīng)用 第二節(jié) 離子束加工 第二節(jié) 離子束加工 ⒊ 離子注入加工 離子注入是
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