【正文】 到幾千攝氏度以上，使材料局部快速汽化、蒸發(fā)而實(shí)現(xiàn)加工目的。 (5) 無(wú)污染。 11 離子束加工 離子束加工的基本原理 離子束加工的原理與電子束加工類似，也是在真空條件下，將氬、氪、氙等隋性氣體，通過(guò)離子源產(chǎn)生離子束并經(jīng)過(guò)加速、集束、聚焦后，以其動(dòng)能轟擊工件表面的加工部位，實(shí)現(xiàn)去除材料的加工。 16 2. 離子鍍覆 離子鍍覆時(shí)工件不僅接受靶材濺射來(lái)的原子，同時(shí)還受到離子的轟擊，這使離子鍍覆有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：鍍覆面積大(所有被暴露在外的表面均能被鍍覆 )、鍍膜附著力強(qiáng)、膜層不易脫落、提高或改變材料的使用性能。 15 離子束加工的應(yīng)用 1. 離子刻蝕 離子刻蝕是從工件上去除材的濺射過(guò)程。電子束熱處理的加熱速度和冷卻速度都很高，在相變過(guò)程中，奧氏體化時(shí)間很短，只有幾分之一秒乃至千分之一秒，奧氏體晶粒來(lái)不及長(zhǎng)大，從而能獲得一種超細(xì)晶粒組織，可使工件獲得用常規(guī)熱處理不能達(dá)到的硬度，硬化深度可達(dá) ~?？梢酝ㄟ^(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行直接控制，可加工出斜孔、彎孔及特殊表面，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。所以電子束加工是通過(guò)熱效應(yīng)進(jìn)行的。由于電子束加工是在真空中進(jìn)行，因而污染少，加工表面不氧化，特別適用于加工易氧化的金屬及合金材料，以及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。該方法所用的是氬 (Ar)離子或其他帶有10keV數(shù)量級(jí)動(dòng)能的惰性氣體離子。可在金屬或非金屬、各種合金、化合