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晶原生產(chǎn)工藝流程、設(shè)備及真空泵-資料下載頁

2025-06-24 12:36本頁面
  

【正文】 /60HzSE65301903RV8115/220240V單相50/60HzSE65401903RV12115/220240V單相50/60HzSE65501903應(yīng)用領(lǐng)域●空氣排出徹底,噪音小●穩(wěn)定可靠性強●易于使用和維護●氣鎮(zhèn)調(diào)節(jié),卓越的水蒸氣處理性能●高真空、高抽量模式切換專利技術(shù)●世界公認●高真空模式○電鏡○質(zhì)譜○硅芯片技術(shù)○作為渦輪泵和擴散泵的前級泵●高抽量模式○蒸餾○溶劑濃縮○冷凍烘干○高性能合金產(chǎn)品 化學工業(yè) :干燥,過濾,精餾,蒸餾,容劑回收,凍干 冶金 :真空熔化,成型,燒結(jié) 半導體鍍膜技術(shù) : CVD,PVD, 等離子刻蝕,反應(yīng)離子刻蝕,離子注入,氣阿爾卡特典型應(yīng)用工藝:l ADP 122 LM, ADS 602 LM 真空進片室,傳送室,物理氣相沉淀,鍍膜l ADP 122 P, ADS 602 P, ADS 1202 P, ADS 1802 P 灰化,玻璃拆封,電介質(zhì),線蝕刻,注入源,介質(zhì)化學氣相沉淀l ADS 602 H, ADS 1202 H, ADS 1802 H等離子增強化學氣相淀積,低壓化學氣相沉淀日本Anlet安耐特ETS系列無油魯氏真空泵及臺灣Kawake凱威科Screwvac系列無油螺旋式真空泵應(yīng)用范圍如下:真空鍍膜、真空熱處理、真空干燥、真空脫氣、真空脫泡、真空含浸、真空包裝、真空吸著、真空搬運、真空食品加工、真空燒結(jié)、真空充填、真空灌注等。 實際應(yīng)用產(chǎn)業(yè)有:半導體制程真空、液晶顯示器制程真空、電子廠中央真空系統(tǒng)、醫(yī)院中央真空系統(tǒng)、食品醫(yī)藥制程真空、燈具制程真空、冷凍空調(diào)制程真空、線路板壓合制程真空、光學鏡片、金屬鍍膜真空、VCDamp。DVD光盤表面真空濺鍍、包裝印刷真空吸著、玻璃、大理石、金屬大型重物真空搬運等。
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