【正文】
down to 101 torr 第二級(jí) : down to 103 torr inlet 密封 , 潤滑 返流 ? 分子篩過濾 油式 干式 (無油 ) 密封不好 壽命短 污染 Inlet pressure: 103 torr ~ torr ~ atm heavy load at high pressure Outlet pressure: 1 atm ~ atm limited by oil vapor amp。 air back leak 抽速大 Pin Pout 壓縮比低 ~ 10 0Q@PPK n e tinout ??凈抽速 Q = Pin Sfor PoutSback If Pout is high, Q can be reduced to 0 此時(shí) Pout/Pin 達(dá)到,因此 K = Pout/Pin = Sfor/Sback 羅茨泵 壓縮比定義: to 機(jī)械泵 對(duì)輥泵 干式 壽命短 (5000 hrs) 抗腐蝕性低 Inlet pressure: 103 torr ~ torr ~ atm Outlet pressure: 1 atm ~ at