【文章內(nèi)容簡介】 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定； 2 不同等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于 5Pa； 3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于 5Pa； 4 潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于 10Pa。 氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求： 1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)的要求?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)為 1～ 5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6～ 9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流； 2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。 潔凈室（區(qū)）所需的滿足空氣潔凈度等級(jí)的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表 。 空氣潔凈度等級(jí) 氣流流型 平均風(fēng)速 （ m/s） 換氣次數(shù) （ h1） 1～ 5 單向流或混合流 ～ — 6 非單向流 — 50～ 60 7 非單向流 — 15～ 25 8～ 9 非單向流 — 10～ 15 表 潔凈送風(fēng)量（靜態(tài)）和氣流流型 注： 1 換氣次數(shù)適用于層高小于 。 2 室內(nèi)人員少、熱源少時(shí)，宜采用下限值。 強(qiáng)制性條文等介紹 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其它建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)： 1 在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時(shí)； 2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時(shí)； 3 對(duì)其它工序有危害或不能避免交叉污染時(shí)。 強(qiáng)制性條文等介紹 空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于 8級(jí)的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。 潔凈室（區(qū)）的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求： 1 應(yīng)防止室外氣流倒灌； 2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施； 3 局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定； 4 對(duì)含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口； 5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源； 6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源； 7 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的 20%計(jì)； 8 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。 強(qiáng)制性條文等介紹 對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。 潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于 12次 /h； 2 應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點(diǎn)； 3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 GB 50016的有關(guān)規(guī)定，當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室（區(qū)）人員密度小于 /m2，且安全疏散距離小于 80m時(shí)，潔凈室（區(qū)）可不設(shè)機(jī)械排煙設(shè)施。 強(qiáng)制性條文等介紹 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50073的有關(guān)規(guī)定。 含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作； 2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作； 3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)夾層內(nèi)。條件合適時(shí)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室（區(qū)）內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 GB 50016的有關(guān)規(guī)定。 潔凈廠房消火栓的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓； 2 室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于 10L/s，同時(shí)使用水槍數(shù)不應(yīng)少于 2支，水槍充實(shí)水柱不應(yīng)小于 10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于 5L/s； 3 潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于 15L/s。 潔凈室（區(qū)）設(shè)置的固定滅火設(shè)施，應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50084的有關(guān)規(guī)定。噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于 8L/min?m2，作用面積不應(yīng)小于 160m2； 2 設(shè)置的氣體滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50193和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50193 的有關(guān)規(guī)定； 3 存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。 強(qiáng)制性條文等介紹 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨(dú)立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計(jì)供水量的 30%； 2 干管流速應(yīng) 大于等于 ； 3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的 6倍； 4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口； 5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象； 6 應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測儀表； 7 對(duì)純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求： 1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求； 2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好； 3 管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好； 4 不得有滲氣現(xiàn)象。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于 1mm。 2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間； 3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施： 1 可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖； 2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施； 3 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施； 4 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施； 2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥； 3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置； 4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖； 5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施： 1 管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理； 2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施； 3 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定： 1 氣體純度大于或等于 %時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥； 2 氣體純度大于或等于 %、露點(diǎn)低于 76℃ 時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥； 3 氣體純度大于或等于 %、露點(diǎn)低于 60℃ 時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥； 4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一