國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工廠潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范-資料下載頁
2025-01-03 04:09本頁面
【正文】 時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響； 2 設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)； 3 對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施； 4 潔凈室（區(qū)）內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。 微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施。 強(qiáng)制性條文等介紹 精密儀器 、 設(shè)備的容許振動(dòng)值 ， 應(yīng)由制造商提供 。無法確定時(shí) ， 可按附錄 C或根據(jù)其工作特性確定 。 有微振動(dòng)控制要求的潔凈室（區(qū)），其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度； 2 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔； 3 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。 強(qiáng)制性條文等介紹 GB50472是依據(jù)電子工廠潔凈廠房特點(diǎn) ， 參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ， 經(jīng)過國(guó)內(nèi)調(diào)研后制定 。 強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)中的 “ 強(qiáng)條 ” 必須嚴(yán)格遵守 。 許多推薦性條文也是行之有效的要求 、 規(guī)定 ，對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì) 、 建造 、 運(yùn)行具有指導(dǎo)性 。 規(guī)定執(zhí)行中 ， 不可避免有各種各樣的問題 ，歡迎提出建議 ， 加強(qiáng)溝通交流 。 強(qiáng)制性條文等介紹 附錄 A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)潔凈度等級(jí)的要求 產(chǎn)品、工序 空氣潔凈度等級(jí) 控制粒徑 半導(dǎo)體材料： 拉單晶 6 ～ 8 0 . 5 μ m 切、磨、拋 5 ～ 7 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 清洗 3 ～ 5 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 外延 3 ～ 5 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 芯片制造 氧化、擴(kuò)散、清洗、刻蝕、薄膜、離子注入、 CMP 2 ～ 5 0. 1 μ m ～ 0. 5 μ m 光刻 1 ～ 4 0. 1 μ m ～ 0. 3 μ m 檢測(cè) 3 ～ 6 0. 2 μ m ～ 0. 5 μ m 設(shè)備區(qū) 6 ～ 8 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 封裝： 劃片、鍵合 5 ～ 7 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 封裝 6 ～ 8 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 強(qiáng)制性條文等介紹 產(chǎn)品、工序 空氣潔凈度等級(jí) 控制粒徑 TF T 、 L CD 陣列板（薄膜、光刻、刻蝕、剝離） 2 ～ 5 0. 2 μ m ～ 0. 3 μ m 成盒（涂復(fù)、摩擦、液晶注入、切割、磨邊） 3 ～ 6 0. 2 μ m ～ 0. 3 μ m 模塊 4 ～ 6 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 彩膜板（ C/ F ） 2 ～ 5 0. 2 μ m ～ 0. 3 μ m S TN 、 L CD 6 ～ 7 （局部 5 級(jí)） 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m HDD 制造區(qū) 3 ～ 4 0. 1 μ m ～ 0. 3 μ m 其它區(qū) 6 ～ 7 ) 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m P D P 核心區(qū) 6 ～ 7 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 支 持區(qū) 7 ～ 8 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 鋰電池 干工藝 6 ～ 7 μ m 其它區(qū) 7 ～ 8 μ m 彩色顯象管 涂屏、電子檢裝配、熒光粉 6 ～ 7 μ m 錐石墨涂覆、蔭罩裝配 8 μ m 強(qiáng)制性條文等介紹 產(chǎn)品、工序 空氣潔凈度等級(jí) 控制粒徑 表面處理 5 7 0 .5 μ m 電子儀器、微型計(jì)算機(jī)裝配 8 (0 .5 μ m) 高密磁帶制造 6 ～ 8 （局部 5 級(jí)） (0 .5 μ m) 印制版的照像、制版、干膜 7 ～ 8 (0 .5 μ m) 光導(dǎo)纖維 預(yù)制棒 6 ～ 7 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 拉絲 5 ～ 7 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 光盤制造 6 ～ 8 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 磁頭生產(chǎn) 核心區(qū) 5 0. 3 μ m 清洗區(qū) 6 0. 3 μ m 片式陶瓷電容、片式電阻等制造 絲印、流延 8 0. 5 μ m 聲表面波器件制 造 光刻、顯影 鍍膜、清洗、劃片、封帽 5 6 0. 3 μ m ～ 0. 5 μ m 0. 5 μ m 返回 強(qiáng)制性條文等介紹 生產(chǎn)類別 舉 例 甲 磁帶涂布烘干工段 有丁酮、丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品的儲(chǔ)存、分配間 有可燃 /有毒氣體的儲(chǔ)存、分配間 乙 印制線路板廠的貼膜曝光間、檢驗(yàn)修版間 彩色熒光粉的蘭粉著色間 丙 半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的外延間 ① 、化學(xué)氣相沉積間 ① 、清洗間 ① 液晶顯示器件工廠的 CVD間 ① ，顯影、刻蝕間，模塊裝配間，彩膜生產(chǎn)間 計(jì)算機(jī)房記錄數(shù)據(jù)的磁盤貯存間 彩色熒光粉廠的生粉制造間 蔭罩廠（制版）的曝光間、顯影間、涂膠間 磁帶裝配工段 集成電路工廠的氧化、擴(kuò)散間、光刻間、離子注入間、封裝間 丁 電真空顯示器件工廠的裝配車間、涂屏車間、蔭罩加工車間、屏錐加工車間 ② 半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的拉單晶間、蒸發(fā)、濺射間、芯片貼片間 液晶顯示器件工廠的濺射間、彩膜檢驗(yàn)間 光纖預(yù)制棒工廠的 MCVD、 OVD沉積間，火拋光、芯棒燒縮及拉伸間、光纖拉絲區(qū) 彩色熒光粉廠的蘭粉、綠粉、紅粉制造間 戊 半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的切片間、磨片間、拋光間 光纖、光纜工廠的光纖篩選、檢驗(yàn)區(qū)，光纜生產(chǎn)線 ③ 附錄 B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間 /工序的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例 注： 1 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)，應(yīng)按丙類；否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。 2 屏錐加工車間中低熔點(diǎn)玻璃配制和低熔點(diǎn)玻璃涂復(fù)間面積超過本層或防火分區(qū)總面積 5%時(shí)，生產(chǎn)類別應(yīng)為乙類。 3 光纜外皮采用發(fā)泡塑料時(shí)，該生產(chǎn)線應(yīng)為丙類。 強(qiáng)制性條文等介紹 潔凈室（區(qū)）應(yīng)定期進(jìn)行性能測(cè)試。以認(rèn)證潔凈室（區(qū)）始終符合本規(guī)范的要求。 空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的認(rèn)證測(cè)試的最長(zhǎng)時(shí)間間隔應(yīng)符合表 。 表 靜壓差和風(fēng)速或風(fēng)量認(rèn)證的測(cè)試要求 空氣潔凈度等級(jí) 最長(zhǎng)時(shí)間間隔（月） 測(cè)試方法 1~5 6 見 6~9 12 見 表 空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證的測(cè)試要求 測(cè)試項(xiàng)目 最長(zhǎng)時(shí)間間隔（月） 測(cè)試方法 風(fēng)速或風(fēng)量 12 見 靜壓差 12 見 注： 1若潔凈室（區(qū)）運(yùn)行中已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求時(shí)，認(rèn)證的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間，可與認(rèn)證單位洽商。 2 空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證，可在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測(cè)，洽商確定。 3 風(fēng)量測(cè)定，應(yīng)采用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測(cè)定。 強(qiáng)制性條文等介紹 電子工業(yè)潔凈室 （ 區(qū) ） 的認(rèn)證測(cè)試 ， 除空氣潔凈度等級(jí) 、 靜壓差 、 風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試外 ， 還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行表 試項(xiàng)目 。 表 潔凈室（區(qū)）洽商選擇的測(cè)試項(xiàng)目 測(cè)試項(xiàng)目 空氣潔凈度等級(jí) 建議最長(zhǎng)的時(shí)間間隔（月） 測(cè)試方法 已安裝過濾器泄漏 氣流流型目測(cè) 溫度 相對(duì)濕度 照度 噪聲 自凈時(shí)間 密閉性 所有潔凈度等級(jí) 24 24 12 12 24 12 24 24 見 見 見 見 見 見 見 見 強(qiáng)制性條文等介紹 GB50472是依據(jù)電子工廠潔凈廠房特點(diǎn) ，參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ， 經(jīng)過國(guó)內(nèi)調(diào)研后制定 。 強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)中的 “ 強(qiáng)條 ” 必須嚴(yán)格遵守 。 許多推薦性條文也是行之有效的要求 、規(guī)定 ， 對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì) 、 建造 、運(yùn)行具有指導(dǎo)性 。 規(guī)范執(zhí)行中 ， 不可避免有各種各樣問題 ， 歡迎提出建議 ， 加強(qiáng)溝通交流 。 結(jié)語 謝 謝 大 家！ 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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