【文章內容簡介】 實驗料號﹕Q1554001 測試者：楊正兵 趙紅利A. 原制程參數操作標準水準參數水準一水準二水準三油墨粘度(cps)A1A2A3下刮刀壓力(bar)B1B2B3涂布速度C1C2C3B. 規(guī)劃實驗因子表C. 排列實驗直交表及實驗結果實驗編號重復次數油墨粘度下刮刀壓力涂布速度Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y91111191211199131111199914111915111921122922122992312262412292512299631133321333313334133351334121284221243212894421284521285122385222353223542238855223612318862231888632316423188886523188713138723138733138743138875313813218232188332184321853219133292332933328943328895332D. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定 E. 驗證實驗、確認最佳組合制程條件參數設計值油墨粘度CPS下刮刀壓力bar涂布速度原設計值A2B2C2新設計值(最佳組合)A3B3C3最適組合A2B3C3注：由參數之S/N比效應值大小可以看出﹐下刮刀壓力及涂布速度影響較大﹐此實驗結果依DOE軟件計算出最佳組合條件確認實驗已完成。具體數據如下表所示﹕ 　123456789極差均值18828388485　8678889810　　　　　　　　總極差和均值依上表可知﹐﹐﹐結果理想﹐能滿足實際生產要求。F．確認依此最佳組合至內蝕完成品AOI掃描結果 實驗料號為Q1554001 ﹐共849PNL(1698pcs)﹐涂布段按最佳組合參數﹐其余條件同生產線參數﹐經掃描后﹐共32pcs孔內殘銅﹐%。G．結論新涂布線油墨粘度﹑下刮刀壓力﹑涂布速度最佳條件為﹕油墨粘度﹕A2 下刮刀壓力﹕B3 涂布速度﹕C3報告人﹕楊正兵12/12/25 以上將作為現有作業(yè)文件修改之依據?？刂埔罁藴驶糠?Standardization Section) 項次參數項目改善前參數改善后參數1曝光能量B1177。bB2177。b2顯影速度(新線)C1177。cC2177。c3比重D1177。dD2177。d4HCL含量E1177。eE2177。e5蝕刻速度F1177。f1F2177。f26蝕刻溫度G1177。g不變7舊涂布線油墨粘度A2177。a1A3177。a28舊涂布線涂布輪轉速B2177。b不變9新涂布線油墨粘度A2177。a不變10新涂布線下刮刀壓力B2177。b板厚nT﹕B3177。b板厚≦nT﹕B2177。b11新涂布線涂布速度C2177。c1C3177。c2備注﹕1. 物料替換時(如油墨﹑藥水)﹐須重新求證上述參數﹔ 2. 以上參數已更改相應作業(yè)文件﹔實驗部分(Experiment Section)(一)實驗部分(Experiment Section)(二)實驗部分(Experiment Section)(三)實驗部分(Experiment Section)(四)烤箱測溫位置圖613524463251實驗部分(Experiment Section)(五)內層板烘烤試驗報告(一)一﹑試驗目的﹕ 確認公司現行內層烘烤作業(yè)方式是否符合制程要求﹐并求出最佳作業(yè)方式；三﹑試驗方法﹕ ﹕ :； ：按下圖所示；﹕﹕180177。2℃﹐時間：5H；﹕20層/疊﹐10PNL/層,共6疊； 感溫線連接方式見下圖: 開料烤箱烤板示意圖 說明: 表示烤箱烤板時所用之鋼板 表示墊鋼板所需的方管 5 23121國651 3 12 13 3 24 55543 5366 四﹑試驗時間：2003年11月19日PM13:30—19:30五﹑試驗過程： 將需烘烤之板平放在墊板上按「﹕」進行作業(yè)； 定時對烤箱所烤之內層板溫度進行測量﹐并留下相關記錄；(具體明細「內層板烘烤時間溫度測試表」) 針對感溫線所檢測到的溫度制定升溫速率趨勢圖(具體明細見「附頁」)； 六﹑試驗結論： 綜上所述﹐按以上方法對薄板(板厚≦)進行烘烤﹐能達到板材的TG點﹐符合公司制程要求； 報告人:趙剛 2003年11月26日內層板不烘烤試驗報告(二)一﹑試驗目的﹕ 確認內層板(內層板板厚＞)開料后不烘烤的可行性；二﹑試驗方法﹕ 針對不同排版之料號進行內層板不烘烤試驗﹐確認其板材漲縮狀況； 針對開料后內層板不烘烤(三次試驗求證)﹐按公司正常制程條件生產至后制程﹐查看內層板不烘烤所造成之報廢情況；三﹑試驗日期﹕2003年10月07日—2003年11月24日四﹑試驗人員﹕楊正兵 趙剛五﹑試驗內容﹕ 內層板原作業(yè)流程﹕對位涂布 磨刷 烘烤 開料蝕刻曝光 ﹕料號內層板板厚內層單邊Pad排版數測試數量PCS找點數量PCS內短數量PCS備注12mil4PCS/PNL8001383該內短報廢不屬于板材材漲縮所致12mil3PCS/PNL52293163012mil4PCS/PNL31238862合計915241875  綜合以上試驗數據﹐可修改內層板作業(yè)流程：蝕刻曝光對位涂布 磨刷 開料