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半導(dǎo)體工藝概述ppt課件-展示頁

2025-05-16 12:40本頁面
  

【正文】 快速熱氧化( RTO) ? 化學(xué)氣相淀積 常壓化學(xué)氣相淀積 低壓化學(xué)氣相淀積 等離子增強化學(xué)氣相淀積 氣相外延法 金屬有機物 CVD ? 分子束外延 ? 物理氣相淀積 真空蒸發(fā)法 濺射法 光 刻 ? 光刻膠 正膠工藝 負膠工藝 ? 曝光源 高壓汞 X射線 電子束曝光 ? 曝光系統(tǒng) 接觸式曝光 接近式曝光 投影式曝光 步進曝光 ? 刻蝕 濕化學(xué)刻蝕 干法刻蝕 反應(yīng)離子刻蝕法 摻雜 ? 擴散 開放式爐管 — 水平 /豎置
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