電子顯微術(shù)ppt課件-文庫吧資料
2025-05-18 03:17本頁面
【正文】 Sample(Metal) Vaccum Simons, SE Primary Electron Beam BSE Specimen 特征 X射線 熒光 X射線 俄歇電子 d Z B Z X Z F RB RX RF 各種信號發(fā)生的深度（ Z） 和廣度（ R） Secondary Electrons Carrying Surface Information Of Specimen 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 一 Z Excitation Depth for Secondary Electron Emission 一 一 一 Secondary Electrons SE SE Secondary Electrons Carrying Inner Information Of Specimen Primary Electron Beam BSE Backscattered Electrons Specimen SE and BSE emitted from solid sample 1kV 2kV 3kV 10 20 30 40 50 (nm) Beam Invading depth Theory of Scanning Electron Microscope ↓ ↓ ↓ Primary Electron Beam Secondary Electron Backscattered Electron Cathodeluminescence Specimen Current Transmitted Electron Electron Beam Induced Current Secondary Electron Detector ~10nm (Excitation Volume for Secondary Electron Emission) Transmitted Electron (Scattered) Characteristic XRay The primary electron beamspecimen interaction in the SEM 第三節(jié) 電子束與試樣相互作用激發(fā)的各種信號及工作方式 一、發(fā)射方式 二次電子 二次電子能量大致在0~30eV之間，多數(shù)來自表面層下部 5~50197。對重金屬而言，此激發(fā)區(qū)域是一個半球形區(qū)域。這些射線的能量或穿透能力各不相同，只有一定深度一定能量的射線才能逸出表面，被檢測到。二是由所接收信號的激發(fā)區(qū)域半徑?jīng)Q定。 S4800) SE Detector ( Upper ) Specimen Lens Primary beam SE detector ( Lower) The illumination angle (α ) of a scanning electron microscope Focal Length Objective Lens Objective Movable Aperture Specimen Working Distance Electron Source Electron Beam α Lens Primary beam Upper High Resolution Lower Topographic Image Non Conductive Samples Select Upper and Lower Detectors Primary beam Lens SE Detector Specimen ３)Inlens type Primary beam SE Detector Lens Specimen １)Conventional type(OutLens) SE Detector (Upper) Specimen Lens Primary beam ２)Snokel type SE Detector (Lower) HiSEM S4300 S4700 S5200 Primary Electron Beam Reducing chargeup with Natu
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