電子顯微鏡修改ppt課件-文庫吧資料
2025-01-21 04:39本頁面
【正文】 范圍，能量較低 (小于 50eV)。 44 掃描電子顯微鏡景深45 日立 S4800 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 主要性能：二次電子像分辨率： (15kv)； (1kv,減速模式 )； (1kV)普通模式加速電壓： ~ 30kV放大倍率： 20 ~ 800,000束流強度： 1pA~2nA 物鏡光欄：加熱自清潔式、四孔、可移動物鏡光欄 樣品室和樣品臺：移動范圍： X： 0~50mm； Y： 0~5mm； Z： ~30mm； T： 5~700旋轉(zhuǎn) R：3600，最大樣品尺寸： 100mm 探測器 : 高位探頭可選擇接受二次電子像或背散射像，并混合 INCA Energy 350 X射線能譜儀技術(shù)指標(biāo)：Xsight Si(Li) 探測器 (專利 )， SuperATW 窗口 30mm2 活區(qū)，分辨率優(yōu)于 133eV (MnKα處 ,計數(shù)率為 4000cps)，分析元素范圍： Be4U9246 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 p 一、像襯原理 p 像的襯度 ：像的各部分 (即各像元 )強度相對于其平均強度的變化。 如何測量 ： 拍攝圖象上，亮區(qū)間最小暗間隙寬度除以放大倍數(shù)。 （ 3） 景深 SEM（二次電子像）的景深比光學(xué)顯微鏡的大，成像富有立體感。 如何測量：拍攝圖象上，亮區(qū)間最小暗間隙寬度除以放大倍數(shù)。可見光信號通過光導(dǎo)管送入光電倍增器，光信號放大，即又轉(zhuǎn)化成電流信號輸出，電流信號經(jīng)視頻放大器放大后就成為調(diào)制信號。 p 閃爍計數(shù)器是由閃爍體、光導(dǎo)管、光電倍增管組成。 p 不同的物理信號，要用不同類型的收集系統(tǒng)（探測器）。 可以采用 橫向靜電場 ，也可采用 橫向磁場 。37 幾種類型電子槍性能比較電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑38 2. 偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)作用 ：使電子束產(chǎn)生橫向偏轉(zhuǎn)。 在微電子工業(yè)方面的應(yīng)用36 電子光學(xué)系統(tǒng)示意圖由電子搶、電磁聚光鏡、光欄、樣品室等部件組成。因此這類試樣在觀察前要噴鍍導(dǎo)電層進(jìn)行處理，通常采用二次電子發(fā)射系數(shù)較高的金銀或碳膜做導(dǎo)電層，膜厚控制在 20nm左右。d0臨界分辨本領(lǐng)， 電子束的入射角 7. 樣品制備l 掃描電鏡的最大優(yōu)點是樣品制備方法簡單，對金屬和陶瓷等塊狀樣品，只需將它們切割成大小合適的尺寸，用導(dǎo)電膠將其粘接在電鏡的樣品座上即可直接進(jìn)行觀察。 景深 l 景深是指一個透鏡對高低不平的試樣各部位能同時聚焦成像的一個能力范圍。l 入射電子束束斑直徑l 入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)l 成像方式及所用的調(diào)制信號 l 二次電子像的分辨率約為 510nm，背反射電子像的分辨率約為 50200nm。?將檢測器得到的信號相加，能得到反映樣品原子序數(shù)的信息；相減能得到形貌信息。兩種圖像的對比錫鉛鍍層的表面圖像（ a）二次電子圖像（ b）背散射電子圖像?對有些既要進(jìn)行形貌觀察又要進(jìn)行成分分析的樣品，將左右兩個檢測器各自得到的電信號進(jìn)行電路上的加減處理，便能得到單一信息。利用原子序數(shù)造成的襯度變化可以對各種合金進(jìn)行定性分析。此外，背反射電子能量較高，它們以直線軌跡逸出樣品表面，對于背向檢測器的樣品表面，因檢測器無法收集到背反射電子，而掩蓋了許多有用的細(xì)節(jié)。 1. 形貌襯度 l 用背反射信號進(jìn)行形貌分析時，其分辨率元比二次電子低。因為隨著 θ角增大，入射電子束作用體積更靠近表面層，作用體積內(nèi)產(chǎn)生的大量自由電子離開表層的機會增多；其次隨 θ角的增加，總軌跡增長，引起價電子電離的機會增多。 5. 掃描電鏡襯度像l 二次電子像l 背散射電子像l x射線元素分布圖。普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導(dǎo)管和光電倍增器所組成真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)l 真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染提供高的真空度，一般情況下要求保持 104105Torr的真空度。l 其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。l 掃描電鏡圖像的放大倍數(shù)定義為 M=L/l L顯象管的熒光屏尺寸； l電子束在試樣上掃描距離。 隨著信號的有效作用深度增加，作用區(qū)的范圍增加，信號產(chǎn)生的空間范圍也增加，這對于信號的空間分辨率是不利的。 但在有效作
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