電子顯微鏡ppt課件(2)-文庫(kù)吧資料
2025-05-10 06:57本頁(yè)面
【正文】 — 80萬(wàn)倍。 信 號(hào) 二次電子 背散射電子 吸收電子 特征 X射線 俄歇電子 分辨率 5～ 10 50～ 200 100～ 1000 100～ 1000 5～ 10 各種信號(hào)成像分辨率（ nm） 33 影響分辨率的三大因素： 電子束束斑大小 檢測(cè)信號(hào)類型 檢測(cè)部位原子序數(shù) SEM的分辨率是通過(guò)測(cè)定圖象中兩個(gè)顆粒間的最小距離確定的。 X射線的深度和廣度都遠(yuǎn)較背反射電子的發(fā)射范圍大，所以 X射線圖像的分辨率遠(yuǎn)低于二次電子像和背反射電子像。 要求真空度 102～ 103pa （ 104105mmHg） 30 掃描電鏡的主要性能 分辨率 放大倍數(shù) 景深 31 （ 1）分辨能力 ? 對(duì)微區(qū)成分分析而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離。 28 29 (3)真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng) 掃描電鏡的真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)的作用與透射電鏡的相同。 信號(hào)電子進(jìn)入閃爍體即引起電離，當(dāng)離子和自由電子復(fù)合后產(chǎn)生可見(jiàn)光。吸收電子可直接用電流表測(cè)，其他電子信號(hào)用電子收集器； 2) 特征 X射線信號(hào)，用 X射線譜儀檢測(cè)； 3) 可見(jiàn)光訊號(hào)（陰極熒光），用可見(jiàn)光收集器。 新式電鏡的樣品室是個(gè)微型試驗(yàn)室，帶有各種附件，可使樣品在樣品臺(tái)上加熱、冷卻和進(jìn)行機(jī)械性能試驗(yàn)。 25 ④ 樣品室 功 能：放置樣品，安裝信號(hào)探測(cè)器；各種信號(hào)的收集和相應(yīng)的探測(cè)器的位置有很大關(guān)系。 24 ③ 掃描系統(tǒng) 掃描系統(tǒng)是掃描電鏡的特殊部件，它由掃描發(fā)生器和掃描線圈組成。 ? 前二者是強(qiáng)透鏡，可把電子束光斑縮小。 ? 熱陰極電子槍 束斑可達(dá) 6nm ? 六硼化鑭和場(chǎng)發(fā)射電子槍，束斑更小 23 ? ② 電磁透鏡 ? 功 能： 聚焦電子槍束斑，使 50 ?m → 數(shù) nm斑點(diǎn)。它的作用是將來(lái)自電子槍的電子束聚焦成亮度高、直徑小的入射束 (直徑一般為 10nm或更小 )來(lái)轟擊樣品，使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)。 ◆ 放大倍數(shù)連續(xù)調(diào)節(jié)范圍大 。 較高的分辨率和很大的景深清晰地顯示粗糙樣品的表面形貌 以多種方式給出微區(qū)成份等信息，用來(lái)觀察斷口表面微觀形態(tài)，分析研究斷裂的原因和機(jī)理等 13
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