電學(xué)半導(dǎo)體測試技術(shù)實踐-文庫吧資料
2025-04-01 02:55本頁面
【正文】 測試頭和被測器件物理和電路接口，被固定在針測臺（Probe）、機械手（Handler）或者其他測試硬件上，其上的布線連接測試機臺內(nèi)部信號測試卡的探針和被測器件的管腳。 測試負(fù)載板(LoadBoard) 為了控制測試成本，謹(jǐn)慎地選擇能滿足器件測試需求的測試設(shè)備是非常重要的，選擇功能相對于我們器件的測試要求過于強大的測試系統(tǒng)會使得我們的測試成本居高不下，而相反的選擇會造成測試覆蓋率不夠；找到設(shè)備功能和成本之間的平衡是測試成本控制本質(zhì)的要求。 而半導(dǎo)體測試工業(yè)普遍使用的是中高端的測試設(shè)備，它們擁有較好的性價比，在對測試成本非常敏感的半導(dǎo)體測試行業(yè)，這無疑是非常重要的。 高端的測試機則是速度非?？欤〞r鐘頻率高）、測試通道非常多的測試系統(tǒng)；時鐘頻率通常會達(dá)到400MHz，并能提供1024個測試通道；擁有高精度的時鐘源和百萬bit位的向量存儲器。d 數(shù)字電路器件類 混合信號器件包括數(shù)字電路和模擬電路，因此需要測試系統(tǒng)包含這兩部分的測試儀器或結(jié)構(gòu)。模擬器件需要測試的一些參數(shù)或特性包括：增益、輸入偏移量的電壓和電流、線性度、通用模式、供電、動態(tài)響應(yīng)、頻率響應(yīng)、建立時間、過沖、諧波失真、信噪比、響應(yīng)時間、竄擾、鄰近通道干擾、精度和噪聲。 模擬器件測試需要精確地生成與測量電信號，經(jīng)常會要求生成和測量微伏級的電壓和納安級的電流。存儲器測試通常需要很長的測試時間去運行所要求的測試模型，為了減少測試成本，測試儀通常同時并行測試多顆器件。存儲器測試的一些典型模型包括：棋盤法、反棋盤法、走0、走蝶形法，等等…… 我們一般認(rèn)為存儲器是數(shù)字的，而且很多DC測試參數(shù)對于存儲類和非存儲類的數(shù)字器件是通用的，雖然如此，存儲器的測試還是用到了一些獨特的功能測試過程。a 存儲器件類 有的電路里既有數(shù)字部分也有模擬部分，如AD轉(zhuǎn)換器（ADC）將模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，DA轉(zhuǎn)換器（DAC）則相反，我們稱之為“混合信號電路”（Mixed Signal Devices）。而在“數(shù)字”時鐘上，只有最小增量以上的值才能被顯示，而比最小增量小的值則無法顯示。 為幫助理解模擬和數(shù)字電路數(shù)值的基本差別，我們可以拿時鐘來比方。 不同于數(shù)字信號的“0”“1”界限分明（離散），模擬電路時連續(xù)的——在任何兩個信號電平之間有著無窮的數(shù)值。數(shù)字電路控制電子信號，表現(xiàn)為邏輯電平“0”和“1”，它們被分別定義成一種特殊的電壓分量，所有有效的數(shù)字電路數(shù)據(jù)都用它們來表示，每一個“0”或“1”表示數(shù)據(jù)的一個比特（bit）位，任何數(shù)值都可以由按照一定順序排列的“0”“1”比特位組成的二進(jìn)制數(shù)據(jù)來表示，數(shù)值越大，需要的比特位越多。機械手可以快速的抓起待測的芯片放入測試點（插座），然后拿走測試過的芯片并根據(jù)測試pass/fail的結(jié)果放入事先定義好的相應(yīng)的Bin區(qū)。 當(dāng)晶片封裝出來后，它們還要經(jīng)過FT測試，這種封裝后的測試需要手工將一個個這些獨立的電路放入負(fù)載板（Load board）上的插座（Socket）里，這叫手工測試（hand test）。 當(dāng)一個測試系統(tǒng)用來驗證一片晶圓上的某個獨立的晶片的正確與否，需要用ProbeCard來實現(xiàn)測試系統(tǒng)和晶片之間物理的和電氣的連接，而ProbeCard和測試系統(tǒng)內(nèi)部的測試儀之間的連接則通過一種叫做“Load board”或“Performance board”的接口電路板來實現(xiàn)。測試系統(tǒng)最基本的要求是可以快速且可靠地重復(fù)一致的測試結(jié)果，即速度、可靠性和穩(wěn)定性。要實現(xiàn)如此復(fù)雜的測試，靠手工是無法完成的，因此要用到自
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