多晶鑄錠生產(chǎn)工藝文件(參考版)
2024-10-29 16:31本頁面
【正文】 具體每個階段的詳細(xì)步驟設(shè)定和時間，按 48 所 提供的 240kg 和 270kg錠標(biāo)準(zhǔn)工藝執(zhí)行。 冷卻 加熱器停止工作， 隔 熱籠緩慢升起， TC2 冷卻到 300℃時整個過程結(jié)束。中央結(jié)晶完成由 光學(xué)高溫計 觸發(fā)，邊 沿 結(jié)晶完成由功率斜率 9 觸發(fā)。 完全熔化后， 由 TC2 或功率斜率 微分觸發(fā)熔化完成報警。 熔化 加熱到 1175℃ 時 通 入 保護(hù)氣體 — 氬氣，進(jìn)入熔化步驟，迅速升溫到熔化點以上，熔化開始。 4 鑄錠工藝 鑄錠工藝分為五個主要階段 加熱 隔 熱籠下降到最低，真空狀態(tài)下讓硅料升溫排出石墨件和硅料吸附的水汽和其它氣體。酸洗可先用 HF:HNO3的體積比 1:4 的溶液稍微拋光，然后用 去離子 水沖洗干凈并干燥 ，化學(xué)試劑推薦使用電子級純度，如用分析純，一定要用 去離子水 多 次 沖洗。 正確擺放 裝塊 狀 料時，最下層擺放要疏松，防止膨脹 過程中坩堝脹裂。 3 裝料 清潔液 8 裝料時要保證潔凈度，盡量防止灰塵落入，人員應(yīng)穿潔凈服。 10 分鐘升溫到 40℃，然后用 6 小時線性升溫到 1000℃，在 1000℃恒溫 3∽ 4 小時，然后等坩堝自然冷卻后待用。如果起皮或液體凝聚，要用油石將涂層全部刮去，用 白 潔布處理表面后，重新噴涂。 坩堝噴涂 噴涂過程中特別注意噴掃時兩端邊 沿 的停留時間不可過長，過長停留時間容易導(dǎo)致邊 沿液體凝聚。溶液配制好后，需用氣動攪拌器高速攪拌 2 分鐘 。噴涂的溫度應(yīng)控制在 80177。使用前為防止結(jié)塊 ， Si3N4 粉末需使用 80 目左右尼龍篩網(wǎng)過濾。操作時要穿潔凈服，防止人體的產(chǎn)物掉到或擦到坩堝上，同時防止粉塵吸入肺部。 7 多晶鑄 錠工藝文件 1 坩堝噴涂 準(zhǔn)備坩堝 坩堝需無可見破損， 內(nèi)壁不可有污跡和明顯劃痕，如有，要用白潔布用力擦去，同時用去油壓縮空氣吹干。注意：整個過程中冷卻水的溫度， F1F8 的流量，千萬不能阻塞 ；溫度、濕度也要密切
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