多晶鑄錠生產(chǎn)工藝文件(編輯修改稿)
2024-11-30 16:31 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 5177。 2） LPM （ 爐體下腔和下部 ） F8：（ 9177。 2） LPM （ 機(jī)械泵和總閥 ） 開始鑄錠 將 裝 有硅料的坩堝放到 定向凝固 塊上 ： 注意：坩堝的位臵要處于 定向凝固塊 塊的正中央，距 定向凝固塊 塊周圍的距離 左右 ，誤差不 要 超過 2mm（特殊交代除外） 。對(duì)爐子進(jìn)行手動(dòng)抽真空檢漏。 確定絕熱籠的 位臵，其位臵是以腔體下邊 沿 為零點(diǎn)。 鑄錠 開始前，校準(zhǔn) 隔 熱籠的位臵。一般在未關(guān)機(jī)的情況下，絕熱籠的位臵不 需 要校準(zhǔn)。 5 調(diào)入程序：首先從 “ 模式 ” 下 選擇所需工藝配方 ， 點(diǎn)擊“確定工藝”，接著點(diǎn)擊“執(zhí)行 /下載修改工藝”，然后點(diǎn)擊 “自動(dòng)運(yùn)行”，此時(shí)，系統(tǒng)進(jìn)入“初始檢查窗口”，則程序開始自動(dòng)運(yùn)行， 進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行階段。 如果是 手動(dòng)模式下抽真空，應(yīng)首先確認(rèn)真空模式，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊機(jī)械泵開關(guān)，此時(shí)機(jī)械泵開啟。當(dāng)壓強(qiáng)降到 10mbar 以下，羅茨泵自動(dòng)開啟，將壓強(qiáng)降到 （這個(gè)過程的時(shí)間大約 1 小時(shí)）。當(dāng)壓強(qiáng)降到 后，關(guān)掉總閥 V1，在前 5分鐘，壓強(qiáng)增加值小于 ，并記錄隨后 4 分鐘增大的壓強(qiáng)變化量。如果檢查漏氣，則要排查漏氣孔。 鑄錠 整個(gè)過程所需時(shí)間大約為 50 小時(shí) ，其間，將會(huì)出現(xiàn) 3 次正常報(bào)警： （ 1）中央熔化報(bào)警： 此時(shí)需要確認(rèn)熔體中央是否完全熔化。具體操作為： 點(diǎn) 擊“ 報(bào)警消聲 ”，再點(diǎn)擊“ 繼續(xù)熔化 ”。然后去上面檢查是否 徹底 熔化。 報(bào)警會(huì)在 4 分鐘 后再次響起 ，處理方法同上。當(dāng)報(bào)警響過 3 次后，再次報(bào)警，點(diǎn)擊“ 進(jìn)入下一步 ”，同時(shí)記錄此次的具體時(shí)間。中央熔化確認(rèn)報(bào)警至少 3 次以上，如果中央沒有完全熔 化，而此時(shí)“ 熔化 ”將要結(jié)束，此時(shí)點(diǎn)擊“ 保持 ”保持這一狀態(tài) 直至完全熔化。 （ 2）中央凝固報(bào)警： 及時(shí)觀察中央是否凝固，如果能看到液體，則點(diǎn)擊“ 取消 ”，繼續(xù)進(jìn)行凝固，這個(gè)報(bào)警要響 3 次以上才能通過完成。 （ 3）邊緣凝固報(bào)警： 一般將報(bào)警取消，點(diǎn)擊“ 延時(shí) ” ，使其繼續(xù)走完，確保邊緣完全凝固。鑄錠過程中， 隔 熱籠只在“ 長晶 ”和“ 冷卻 ”時(shí)會(huì) 升起，其余的步驟
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