多晶鑄錠生產工藝文件(編輯修改稿)
2024-11-30 16:31 本頁面
【文章內容簡介】 5177。 2） LPM （ 爐體下腔和下部 ） F8：（ 9177。 2） LPM （ 機械泵和總閥 ） 開始鑄錠 將 裝 有硅料的坩堝放到 定向凝固 塊上 ： 注意：坩堝的位臵要處于 定向凝固塊 塊的正中央，距 定向凝固塊 塊周圍的距離 左右 ，誤差不 要 超過 2mm（特殊交代除外） 。對爐子進行手動抽真空檢漏。 確定絕熱籠的 位臵，其位臵是以腔體下邊 沿 為零點。 鑄錠 開始前，校準 隔 熱籠的位臵。一般在未關機的情況下，絕熱籠的位臵不 需 要校準。 5 調入程序：首先從 “ 模式 ” 下 選擇所需工藝配方 ， 點擊“確定工藝”，接著點擊“執(zhí)行 /下載修改工藝”，然后點擊 “自動運行”，此時，系統進入“初始檢查窗口”，則程序開始自動運行， 進入自動運行階段。 如果是 手動模式下抽真空，應首先確認真空模式，然后用鼠標點擊機械泵開關，此時機械泵開啟。當壓強降到 10mbar 以下，羅茨泵自動開啟，將壓強降到 （這個過程的時間大約 1 小時）。當壓強降到 后，關掉總閥 V1，在前 5分鐘，壓強增加值小于 ，并記錄隨后 4 分鐘增大的壓強變化量。如果檢查漏氣，則要排查漏氣孔。 鑄錠 整個過程所需時間大約為 50 小時 ，其間，將會出現 3 次正常報警： （ 1）中央熔化報警： 此時需要確認熔體中央是否完全熔化。具體操作為： 點 擊“ 報警消聲 ”，再點擊“ 繼續(xù)熔化 ”。然后去上面檢查是否 徹底 熔化。 報警會在 4 分鐘 后再次響起 ，處理方法同上。當報警響過 3 次后，再次報警，點擊“ 進入下一步 ”，同時記錄此次的具體時間。中央熔化確認報警至少 3 次以上，如果中央沒有完全熔 化，而此時“ 熔化 ”將要結束，此時點擊“ 保持 ”保持這一狀態(tài) 直至完全熔化。 （ 2）中央凝固報警： 及時觀察中央是否凝固，如果能看到液體，則點擊“ 取消 ”，繼續(xù)進行凝固，這個報警要響 3 次以上才能通過完成。 （ 3）邊緣凝固報警： 一般將報警取消，點擊“ 延時 ” ，使其繼續(xù)走完，確保邊緣完全凝固。鑄錠過程中， 隔 熱籠只在“ 長晶 ”和“ 冷卻 ”時會 升起，其余的步驟
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