多晶鑄錠生產(chǎn)工藝文件-wenkub.com
2024-10-21 16:31 本頁面
【正文】 可以開爐取錠 。 長晶 隔 熱籠開始提升， 定向凝固 塊開始把 熱量輻射到下爐壁，形成 溫度 梯度，定向凝固開始。該過程為功率控制模式，加熱器按照設(shè)定功率加熱。 裝料到一半時，按照計算出的量加入高硼硅 摻 雜 ： 摻 雜劑使用前要酸洗表面并干燥。 燒結(jié)后如發(fā)現(xiàn)起皮，要 將 涂層全部刮去，用 白 潔布處理表面后，重新噴涂。 噴涂速度要保證 涂層適當干燥，不起皮。 5℃，溫度過低涂層起皮脫落，溫度過高 Si3N4 粉末也容易脫落。 配制溶液 配制溶液采用 250g 的 Si3N4 粉末對 1000ml 的 去離子 水，不使用其它粘接劑。 具體見“鑄錠爐運行數(shù)據(jù)記錄表”。試驗結(jié)束后，待溫度（ TC2）降到 300℃以下，才可降下爐腔體，取 6 出硅錠。 （ 2）中央凝固報警： 及時觀察中央是否凝固，如果能看到液體，則點擊“ 取消 ”，繼續(xù)進行凝固，這個報警要響 3 次以上才能通過完成。然后去上面檢查是否 徹底 熔化。當壓強降到 后，關(guān)掉總閥 V1，在前 5分鐘，壓強增加值小于 ，并記錄隨后 4 分鐘增大的壓強變化量。一般在未關(guān)機的情況下，絕熱籠的位臵不 需 要校準。 2） LPM （ 機械泵和總閥 ） 開始鑄錠 將 裝 有硅料的坩堝放到 定向凝固 塊上 ： 注意：坩堝的位臵要處于 定向凝固塊 塊的正中央，距 定向凝固塊 塊周圍的距離 左右 ，誤差不 要 超過 2mm（特殊交代除外） 。 2） LPM （ 爐體上腔體和頂蓋 ） F5：（ 18177。 調(diào)節(jié)冷卻回水的閥門，使 8 根冷卻回水的流量分別為： F1：（ 14177。檢查下爐腔 的“ O”型 密封圈和表面是否清潔，不能有灰塵。 4 冷卻水進水壓力在 ∽ 之間，冷卻回水壓力小于（冷卻水進水壓力 ） ，冷卻水的流量總和在 120— 140LPM，需經(jīng)常檢查 水 流量計的情況，以防有阻塞的情況發(fā)生。 外圍設(shè)施基本條件的準備 啟動設(shè)備前，檢查水、電、氣。 填料 將坩堝放在石墨板上，并一起放在磅 秤上 稱量 （磅秤必須歸零）。噴涂過程
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