多晶鑄錠生產(chǎn)工藝文件(已修改)
2024-11-10 16:31 本頁面
【正文】 1 多晶硅錠的生產(chǎn)流程 1. 生產(chǎn)工藝流程 （ 1） 制造工藝流程 圖 （ 2） 工藝流程簡述 坩堝 噴涂 ： 其目的是為了在鑄錠的過程中，防止坩堝的雜質(zhì)混入硅料。噴涂的 Si3N4 粉起到一個隔離雜質(zhì)和防止粘堝的作用。 坩堝燒結(jié) ： 此過程是為了使噴涂在坩堝內(nèi)表面的 Si3N4粉牢固附著在坩堝上。 多晶爐鑄錠： 將盛好硅料的坩堝放入多晶爐中，經(jīng)高溫熔化定向凝固鑄錠。 （ 3） 反應(yīng) 副產(chǎn) 物 生產(chǎn)過程中產(chǎn)生 含 Si3N4 粉塵的 空氣，過濾除塵后排放大氣；鑄錠過程中排放的少量氬氣，直接排放入大氣；鑄錠后產(chǎn)生的石英坩堝碎片作為廢物處理。 2 多晶鑄錠操作流程 1 目的 為了保證正 確操作多晶 硅 鑄錠爐，使鑄錠過程規(guī)范、有效地進(jìn)行，并確保鑄錠成功。 2 適用范圍 多晶鑄錠車間 3 規(guī)范性引用文件 無 4 職責(zé) 生產(chǎn)部負(fù)責(zé)鑄錠的整個過程。 工廠工程部負(fù)責(zé)整個外圍設(shè)施條件，以保證多晶爐正常運(yùn)行的環(huán)境條件要求。 5 術(shù)語和定義 坩堝噴涂： 在坩堝的內(nèi)表面均勻噴涂 Si3N4 粉溶液，以防止 在 鑄錠時坩堝和硅錠燒結(jié) 在一起。其目的是為了在鑄錠 過程中，防止坩堝 內(nèi) 的雜質(zhì)擴(kuò)散入硅錠。 噴涂 Si3N4 粉起到了一個隔離雜質(zhì)和防止粘堝的作用。 涂層燒結(jié)： 此過程是為了 使 噴涂在坩堝內(nèi)表面的 Si3N4 涂層 牢固地附著在坩堝上。 多晶爐鑄錠： 將硅料放入坩堝，并一起放入多晶爐中，硅料經(jīng)高溫熔化、定向凝固成為硅錠。 定向凝固： 在梯度熱場中，液體朝一個方向凝固，固液界面近似 于平面的凝固過程。 3 6 多晶爐工藝過程 準(zhǔn)備石英坩堝 檢查石英坩堝表面，不能有裂紋， 內(nèi)部不能有超過 2mm 的劃痕、凹坑、突起。 用 壓縮空氣和去離子 水 清潔 坩堝的內(nèi)表面。 坩堝噴涂： 取 250g 的 Si3N4 粉末，用濾網(wǎng)篩濾。然后取 1000ml 的 去離子水 ，將 Si3N4粉末 溶解到 去 離子 水中，用氣動攪拌 泵 攪拌均
醫(yī)療健康相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1