ecvd工藝培訓(xùn)ppt課件(參考版)
2025-01-13 15:32本頁(yè)面
【正文】 謝謝 。 其他事項(xiàng) SPC （ 1）監(jiān)控項(xiàng)目：膜厚 折射率 （ 2）監(jiān)控范圍： 膜厚：目標(biāo) 85nm，控制上下限范圍 3nm，規(guī)格上下限范圍 5nm；折射率： 目標(biāo) ，控制上下限范圍 規(guī)格上下限范圍 （ 3）監(jiān)控頻率： 5片 /板 5點(diǎn) /片 （ 4）量測(cè)方法：下料時(shí)取規(guī)定板號(hào)規(guī)定位置硅片用橢偏儀測(cè)量其膜厚和折射率。 PM時(shí)用無(wú)塵布 +酒精擦拭一次。 ，至少預(yù)熱一輪。Rau 、橢偏儀 工具： Schmid花籃、 Baccini花籃、石墨板。 ，先做 1板硅片進(jìn)行跟蹤，如果膜厚折射率異常，及時(shí)通知工藝人員進(jìn)行調(diào)整，異常消除后方可生產(chǎn)。 將空的 Baccini花籃放在卸料臺(tái)上，硅片鍍膜之后，由上下料設(shè)備裝入片盒，將片盒從下料臺(tái)上取下，送到絲網(wǎng)印刷工序。 鍍膜檢測(cè)：硅片鍍膜之后，選取石墨板規(guī)定位置的硅片檢驗(yàn)?zāi)ず衽c折射率。啟動(dòng)上下料設(shè)備，進(jìn)入自動(dòng)狀態(tài)，進(jìn)行生產(chǎn)。等到等離子源全部啟動(dòng)之后，對(duì)石墨板預(yù)熱至少一輪之后，進(jìn)行生產(chǎn)。 ，接班后用酒精和無(wú)塵布擦拭機(jī)器傳送帶，使自動(dòng)上下料設(shè)備保持清潔
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