ecvd工藝培訓(xùn)ppt課件-閱讀頁(yè)
2025-01-25 15:32本頁(yè)面
【正文】 結(jié)果顯示在軟件右上位置。 操作流程及注意事項(xiàng) 本文規(guī)定了 C2 PECVD工序的基本操作流程。 PECVD操作流程： 內(nèi)容 生產(chǎn)準(zhǔn)備 進(jìn)入車間時(shí)必須穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防塵口罩，衣著標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格按照 6S執(zhí)行，不得穿著工作服在車間外活動(dòng)，進(jìn)入車間必須走風(fēng)淋室。 操作流程 在 Roth＆ Rau操作界面上，進(jìn)入 OP操作界面，點(diǎn)擊“控制”，選擇設(shè)定的工藝，啟動(dòng)工藝。 裝滿去 PSG后硅片的 Schmid花籃運(yùn)輸?shù)?PECVD上料臺(tái)，保證擴(kuò)散面向下。并確保 PSG后硅片產(chǎn)出一小時(shí)內(nèi)進(jìn)入 PECVD鍍膜。 不良檢驗(yàn)：在上下料設(shè)備的 lift處每 4板，隨機(jī)抽取一列觀察其鍍膜情況，若有不良及時(shí)返工。 PM事項(xiàng) PM或開(kāi)腔體之后需將載板空跑一輪后方可生產(chǎn)，空運(yùn)行期間由工藝人員調(diào)整工藝。 /工具 /材料 儀器： Rothamp。 材料： PSG后硅片 PSG后硅片方向，確保擴(kuò)散面向下。 。 任何人未經(jīng)允許不得更改工藝參數(shù)。將測(cè)量結(jié)果、流程單號(hào)等信息詳細(xì)記
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