ecvd工藝培訓(xùn)ppt課件(存儲版)
【正文】 選擇預(yù)選設(shè)定的 針對太陽能電池的 Recipe，并點擊 “Measure” 按鈕后開始運行測量。等到等離子源全部啟動之后，對石墨板預(yù)熱至少一輪之后，進(jìn)行生產(chǎn)。 ，先做 1板硅片進(jìn)行跟蹤，如果膜厚折射率異常，及時通知工藝人員進(jìn)行調(diào)整，異常消除后方可生產(chǎn)。 其他事項 SPC （ 1）監(jiān)控項目：膜厚 折射率 （ 2）監(jiān)控范圍： 膜厚：目標(biāo) 85nm，控制上下限范圍 3nm，規(guī)格上下限范圍 5nm；折射率： 目標(biāo) ，控制上下限范圍 規(guī)格上下限范圍 （ 3）監(jiān)控頻率： 5片 /板 5點 /片 （ 4）量測方法：下料時取規(guī)定板號規(guī)定位置硅片用橢偏儀測量其膜厚和折射率。 PM時用無塵布 +酒精擦拭一次。 將空的 Baccini花籃放在卸料臺上，硅片鍍膜之后，由上下料設(shè)備裝入片盒，將片盒從下料臺上取下，送到絲網(wǎng)印刷工序。 ，接班后用酒精和無塵布擦拭機器傳送帶，使自動上下料設(shè)備保持清潔，并及時清理碎片。 U型槽 U型槽 NH3入口 Si3H4入口 特氣管
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