ecvd工藝培訓(xùn)ppt課件-wenkub
2023-01-25 15:32:24 本頁面
【正文】 U型槽 U型槽 NH3入口 Si3H4入口 特氣管 石英管，及導(dǎo)電銅管 等離子源 U型槽截面圖 石墨載板 石英管 磁體 銅管 氨氣入口 高密度等離子區(qū) 硅烷入口 硅片 PECVD檢測 介紹 目前我們使用為 SENTECH的 SE 400adv PV 激光橢偏儀 測量： 對太陽能電池采用不同的測試樣品臺。在 Protocol中關(guān)注 deg of polarization（偏振角度）值要 大于 。 ，接班后用酒精和無塵布擦拭機器傳送帶，使自動上下料設(shè)備保持清潔，并及時清理碎片。啟動上下料設(shè)備，進(jìn)入自動狀態(tài)，進(jìn)行生產(chǎn)。 將空的 Baccini花籃放在卸料臺上，硅片鍍膜之后，由上下料設(shè)備裝入片盒，將片盒從下料臺上取下，送到絲網(wǎng)印刷工序。Rau 、橢偏儀 工具： Schmid花籃、 Baccini花籃、石墨板。 PM時用無塵布 +酒精擦拭一次。 謝謝 。 其他事項 SPC （ 1）監(jiān)控項目：膜厚 折射率
環(huán)評公示相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1