ecvd工藝培訓(xùn)ppt課件-免費(fèi)閱讀
【正文】 任何人未經(jīng)允許不得更改工藝參數(shù)。 PM事項(xiàng) PM或開腔體之后需將載板空跑一輪后方可生產(chǎn)，空運(yùn)行期間由工藝人員調(diào)整工藝。 操作流程 在 Roth＆ Rau操作界面上，進(jìn)入 OP操作界面，點(diǎn)擊“控制”，選擇設(shè)定的工藝，啟動(dòng)工藝。其中金字塔絨面單晶硅電池采用傾斜樣品臺(tái)測(cè)試， 其他絨面的單晶硅和多晶硅電池采用水平固定樣品臺(tái)測(cè)試。 gate1 gate2 gate3 gate4 石墨載板 載板外觀圖 掛鉤，支撐電池片 尺寸： 158*158 5*9=45 PECVD： Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition（等離子 增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積 ） 等離子體：氣體在一定條件下受到高能激發(fā)，發(fā)生電離，部分外層電子脫落原子核，形成電子、正離子和中性粒子混合物組成的一種形態(tài)，這種形態(tài)就稱為等離子態(tài)。 原理： PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
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