ecvd工藝培訓(xùn)ppt課件(留存版)
【正文】 ，工藝腔（包括預(yù)熱、沉積和冷卻三部分）和下料腔。 PECVD操作流程： 內(nèi)容 生產(chǎn)準(zhǔn)備 進(jìn)入車間時(shí)必須穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防塵口罩，衣著標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格按照 6S執(zhí)行，不得穿著工作服在車間外活動(dòng)，進(jìn)入車間必須走風(fēng)淋室。 。 /工具 /材料 儀器： Rothamp。當(dāng)次測(cè)量結(jié)果顯示在軟件右上位置。各腔體直接有閘門閥隔開。 ，接班后用酒精和無塵布擦拭機(jī)器傳送帶，使自動(dòng)上下料設(shè)備保持清潔，并及時(shí)清理碎片。 PM時(shí)用無塵布 +酒精擦拭一次。 ，先做 1板硅片進(jìn)行跟蹤，如果膜厚折射率異常，及時(shí)通知工藝人員進(jìn)行調(diào)整，異常消除后方可生產(chǎn)。 選擇預(yù)選設(shè)定的 針對(duì)太陽能電池的 Recipe，并點(diǎn)擊 “Measure” 按鈕后開始運(yùn)行測(cè)量。 gate1 gate2 gate3 gate4 石墨載板 載板外觀圖 掛鉤，支撐電池片 尺寸： 158*158 5*9=45 PECVD： Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition（等離子 增強(qiáng)型化學(xué)氣相
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