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ecvd質(zhì)量檢驗員培訓(參考版)

2025-01-13 11:18本頁面
  

【正文】 ? 實際應用中,電池在做成組件時,大多采用硅橡膠封裝。帶這一厚度減反射膜的硅太陽電池,由肉眼看來應呈深藍色。 鍍膜 PECVD ? 外層空間太陽光譜能量的峰值在波長 ,地面太陽光譜能量的峰值在波長 ;而硅太陽電池的相對響應峰值在波長 ~ 。因此,為了使電池輸出盡可能增加,應先取一個合理的設計波長 ?0。 ? 當波長為 ?0的光垂直入射時,如果膜層光學厚度為 ?0的四分之一,即 nd=?0/4,則可得 : 202020 )(sisinnnnnnR????鍍膜 PECVD ? 為了使反射損失減到最小,即希望 R0=0,就應有: ? 由上式就可求得給定波長為 ?0所需減反射膜的折射率,而最佳膜層光學厚度是該波長的四分之一,此時反射率最小,接近于零。此時反射率由下式給出: 式中, r r2分別是外界介質(zhì) 膜和膜 硅界面上的菲涅爾反射系數(shù);△為膜層厚度引起的位相角。 * 常規(guī)橢偏儀的硬件和軟件只能夠分析從樣品表面反射的完全偏振光,他們不能分析部分偏振。 鍍膜 PECVD ? Sentech橢偏儀優(yōu)勢 * 宏觀粗糙表面使入射偏振光散射非常嚴重 * 反射光強極低,接近探測器噪聲的強度 * 散射使入射光線部分去偏振,常規(guī)橢偏儀只能夠測量完全偏振光 采用專用聚焦光學組件 補償器測量模式和軟件能夠?qū)y量進行退偏修正 鍍膜 PECVD ? Sentech橢偏儀優(yōu)勢 * 膜厚梯度、散射光線(粗糙表面)、聚焦角度、透明基底背板反射等都能夠減少光的偏振程度,這就是退偏振效應。消光時,△和 Φ分別由起偏器的方位角 P和檢偏器的方位角 A決定。對一定厚度的某種膜,旋轉(zhuǎn)起偏器總可以找到某一方位角,使反射光變?yōu)榫€偏振光。 Rp和 Rs分別為 P波初量和 S波分量的總反射系數(shù)。 鍍膜 PECVD ?橢偏測量原理示意圖 鍍膜 PECVD ? 橢偏測量原理 一般用 Φ和△來描述反射時偏振狀態(tài)的變化,其定義為: 式中 tgΦ的物理意義是 P波和 S波的振幅之比在反射前后的變化,稱為橢偏法的 振幅參量 。再經(jīng)過 1/4波長片,由于雙折射現(xiàn)象,使其分解成互相垂直的 P波和 S波,成為橢圓偏振光,橢圓的形狀由起偏器的方位角決定。(右旋和左旋)
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