ecvd質量檢驗員培訓(編輯修改稿)
2025-02-06 11:18 本頁面
【文章內容簡介】 法清洗：普遍應用的方法是 RCA清洗方法以及基于 RCA清洗方法的一些改進方法 干法清洗：激光束、等離子 清洗 去 PSG ? RCA清洗方法簡介 ＊ RCA清洗方法中使用的堿性過氧化氫清洗液（又稱 Ⅰ 號清洗液）由去離子水、 30%的過氧化氫和 25%的濃氨水按一定配比混合而成。它們的體積比是去離子水： H2O2： NH4OH=5： 1： 1到5： 2： 1。 ＊ RCA清洗方法中使用的酸性過氧化氫清洗液（又稱 Ⅱ 號清洗液）由去離子水、 30℃ 的過氧化氫和 37%的濃鹽酸按一定配比混合而成。它們的體積比是去離子水： H2O2： HCL為 6： 1： 1到 8：2： 1。 清洗 去 PSG ? 清洗效果的判斷 ＊ 親水性：清洗前硅片表面 Si大部分以 O鍵為終端結構，形成一層自然氧化膜，呈親水性。 ＊ 疏水性：清洗后硅片最外層的 Si幾乎是以 H鍵為終端結構，表面呈疏水性。 ＊ 從能量觀點看，疏水性表面屬低能表面，這時硅表面張力 rSG小于水分子表面張力 rSL，而親水表面屬高能表面，這時的硅表面張力 rSG大于水分子表面張力 rSL。 清洗 去 PSG ? 清洗不好造成的影響 容易產生水痕 鍍膜后容易產生色差 電極漿料不能和硅形成良好的歐姆接觸 鍍膜 PECVD ? 光的五種偏振態(tài) 線偏振光 :在光波傳播過程中 E(H)只限于在一個平面中的光叫做平面偏振光（線偏振光）。 圓偏振光： E矢量的端點的運動軌跡為圓。（右旋和左旋） 橢圓偏振光： E矢量的端點的運動軌跡為橢圓。（右旋和左旋） 自然光 部分偏振光：線偏振光 +自然光 鍍膜 PECVD ?光的五種偏振態(tài) 鍍膜 PECVD ?橢偏測量原理示意圖 鍍膜 PECVD ? 橢偏測量原理 由激光器發(fā)出一定波長（ 6328197。 ）的激光束，經(jīng)過起偏器后變成為線偏振光，并確定其偏振方向。再經(jīng)過 1/4波長片，由于雙折射現(xiàn)象，使其分解成互相垂直的 P波和 S波，成為橢圓偏振光，橢圓的形狀由起偏器的方位角決定。橢圓偏振光以一定的角度入射到樣品上，經(jīng)過樣品表面和多層介質（包括襯底 介質膜 空氣）的來回反射與折射，總的反射光束一般仍為橢圓偏振光，但橢圓的形狀和方位改變了。 鍍膜 P
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