電鏡微區(qū)成分分析技術(shù)-資料下載頁
2025-04-30 02:36本頁面
【正文】 料直接影響 EDS所能分析元素的范圍，能譜儀探頭一般帶有鈹 (Be)窗，鈹窗厚度約為 78μ m，它對超輕元素的 X射線吸收極為嚴重，致使這些元素無法被檢測到。因而，帶鈹窗的 Si(Li)探頭只能檢測 Na(Z=11)以上的元素。 20世紀 80年代，推向市場的新型有機超薄窗，對 X射線能量的吸收極小，使 Si ( Li)探頭可檢測 4 Be92U所有元素，結(jié)束了有窗能譜儀不能檢測輕元素、超輕元素的歷史，使 EDS的應(yīng)用更廣泛。 21 X射線能譜儀的特點 ? (1)分析速度快 :能譜儀可以瞬時接收和檢測所有不同能量的 X射線光子信號，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素 (Be窗 :11 Na92 U，超薄窗 :4 Be 92 U) 。 ? (2)靈敏度高 :X射線收集立體角大，由于能譜儀中 Si(Li)探頭不采用聚焦方式，不受聚焦圓的限制，探頭可以靠近試樣放置，信號無需經(jīng)過晶體衍射，其強度幾乎沒有損失，所以靈敏度高。此外，能譜儀可在低入射電子束流 (1011 A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。 22 (3)譜線重復性好 :由于能譜儀沒有運動部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析。 23 (1)能量分辨率低、峰背比低。 EDS的能量分辨率在 130eV左右，這比 WDS的能量分辨率 (5eV)低得多，譜線的重疊現(xiàn)象嚴重，因此， EDS分辨具有相近能量的特征 x射線的能力差。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或 X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光 X射線信號也同時檢測到，從而使得 Si ( Li)檢測器檢測到的特征譜線在強度提高的同時，背底也相應(yīng)提高，因而峰背比低，使 EDS所能檢測的元素的最低濃度是 WDS的 10倍。 24 (2)工作條件要求嚴格 :Si ( Li)探頭必須保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)，即使是在不工作時也不能中斷，否則晶體內(nèi)的鋰原子會擴散、遷移，導致探頭功能下降甚至失效。 25
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