電鏡微區(qū)成分分析技術(shù)(編輯修改稿)
2025-05-27 02:36 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ，再對被分析表面磨光。所采用的鑲嵌材料應(yīng)具有良好的導(dǎo)電性和一定的硬度。 對于非導(dǎo)體的樣品，需要在其表面噴上一層碳、鋁、鉻、金等導(dǎo)電膜。 8 根據(jù)被分析元素的范圍，選用最合適的分析晶體，一般來說，選擇其 d值接近待測試樣波長的分析晶體，這樣衍射效率高、分辨本領(lǐng)好且峰背比值大。 為了從試樣表面上激發(fā)物質(zhì)所包含元素的特征X射線譜，要求電子探針的加速電壓大于物質(zhì)所包含元素的臨界激發(fā)電壓。當(dāng)分析含量極微的元素時，應(yīng)采用較高的加速電壓以提高分析的靈敏度。 9 三、分析方法 X射線顯微分析有定性分析和定量分析，定性分析是檢測樣品有哪些元素以及樣品內(nèi)元素的分布情況，定量分析是計算樣品內(nèi)各元素的含量。定量分析是在定性分析的基礎(chǔ)上，運用一定的數(shù)學(xué)和物理模型，經(jīng)過大量的計算而得出結(jié)果。 10 (1)點分析 將電子探針照射在樣品的某一微區(qū)或特定點上，對該點作元素的定性和定量分析，即為點分析。 (2)線分析 當(dāng)電子束在試樣某區(qū)域內(nèi)沿一條直線作緩慢掃描的同時，記錄其 X射線的強度 (它與元素的濃度成正比 )分布，就可以獲得元素的線分布曲線。 (3)面分析 當(dāng)電子束在試樣表面的某面積上作光柵狀掃描的同時，記錄該元素的特征 X射線的出現(xiàn)情況。 11 被分析的選區(qū)尺寸可以小到 1 μ m 12 左圖為對某夾雜物做的線分析。根據(jù)對元素 Fe,AI,Ca等的分析結(jié)果，可以確定該夾雜物為鈣鋁酸鹽。 13 凡含有待測元素的試樣點均有信號輸出，相應(yīng)在顯像管的熒光屏上出現(xiàn)一個亮點 。反之，凡不含有該元素的試樣點，由于無信號輸出，相應(yīng)在顯像管的熒光屏上不出現(xiàn)亮點。因此，在熒光屏上亮點的分布就是代表該元素的面分布。 14 (1)選擇合適的分析線。在波譜已經(jīng)進行注釋的分析基礎(chǔ)上，考慮選用強度較高和不受干擾的譜線作為元素定
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