薄膜技術及應用ppt課件-資料下載頁
2025-01-17 18:51本頁面
【正文】 r/min）的葉片將動量傳給氣體分子。多級葉片，上級葉片輸送的氣體分子受下級葉片的作用繼續(xù)被壓縮至更下級。 特點：壓縮比高，對一般氣體分子 的抽除極有效。如氮氣，壓縮比達109。 極限真空度： 108 Pa 抽速：可達 1000L／ s 壓力范圍： 1108 Pa 前級泵：旋片機械泵 獲得無油高真空 /超高真空環(huán)境 Molecular Pump 低溫吸附泵 工作原理：靠氣體分子在低溫條件下自發(fā)凝結或被其他物質表面吸附，而獲得高真空。 真空度依賴于溫度、吸附物質表面積、被吸附氣體種類等因素。 極限真空度： 101108 Pa。 濺射離子泵 工作原理：高壓陰極發(fā)射出的高速電子與殘余氣體分子碰撞引起電離放電，電離的氣體分子高速撞擊 Ti陰極濺射出大量 Ti原子?；钚院芨叩?Ti原子以吸附或化學反應的形式捕獲大量氣體分子并使其在泵體內(nèi)沉積下來，實現(xiàn)無油高真空環(huán)境。 氣體活性大，抽速大。 極限真空度： 108 Pa。 真空的測量 與真空環(huán)境的獲得方法密切相關的是真空的測量技術。根據(jù)真空度或氣體壓力范圍的不同，其測量方法也大相徑庭。 由儀器測出的真空度與真空室的實際真空度之間可能會由于溫度不同而存在誤差。在氣體流動狀態(tài)處于分子流狀態(tài)，而且真空室與測量點之間存在較細的管道連接時，測量壓力 pm和實際壓力 pc之間的關系將可由分子凈通量為零的條件，有 熱偶真空規(guī)和皮拉尼（ Pirani）真空規(guī) 真空規(guī)：真空測量用的元件。 熱偶規(guī)和皮拉尼規(guī)是以氣體熱導率隨氣體壓力的變化為基礎而設計的，是最常用的低真空測量手段。 熱偶真空規(guī)工作原理：將作為熱絲的 Pt通過恒定強度的電流。在達到熱平衡以后，電流提供的加熱功率與通過空間熱輻射、金屬絲熱傳導以及氣體分子熱傳導而損失的功率相等，因而熱絲的溫度將隨著真空度的不同而有規(guī)律變化。 測量范圍 : 在 ，氣體的熱導率將隨著氣體壓力的增加而上升，因而熱絲的溫度會隨著氣體壓力的上升而降低。這時，用熱電偶測出了熱絲本身的溫度，也就相應測出了環(huán)境的氣體壓力。 熱偶真空規(guī)不能用于較低或較高真空度的測量。在氣體壓力高于100Pa的情況下，氣體的熱導率將不再隨氣體壓力而變。這時，用熱絲溫度測量氣體壓力方法的靈敏程度將迅速下降．而當氣體壓力低于，由氣體分子傳導走的熱量在總加熱功率中的比例過小，測量的靈敏度也將呈下降趨勢。 皮拉尼真空規(guī)又稱熱阻式真空規(guī)。 工作原理：通過測量熱絲的電阻隨溫度的變化來實現(xiàn)對真空度的測量。 類型：定溫度型，定電流 型和定電壓型。 測量范圍 :。 電離真空規(guī) 與熱偶真空規(guī)結合使用的高真空規(guī)。 電離真空規(guī)主要由陰極、陽極和離子收集極組成。 熱陰極發(fā)射出的電子在飛向陽極過程中碰撞氣體分子，使之電離。離子收集極接收離子，根 據(jù)離子電流強度 Ii的大小測量環(huán)境真空度。 由于離子電流的大小將取決于陰極發(fā)射的電子電流強度 Ie、氣體分子的碰撞截面及氣體分子密度，因而在固定陰極發(fā)射電流和氣體種類的情況下，離子電流強度將直接取決于電離氣體的壓力。 電離真空規(guī)測量范圍的下限受陰極發(fā)射的高能光子在收集極上產(chǎn)生的光電效應所限制，這種效應產(chǎn)生的光電流相當于 107Pa的真空條件下的離子電流。 電離真空規(guī)的工作上限為 1Pa左右，這時，電子的自由程太短，已不能使氣體分子產(chǎn)生有效的電離。 為了消除真空規(guī)本身放氣對高真空度時測量值的影響，在使用電離真空規(guī)之前需要將其加熱至稍高的溫度進行預先烘烤，以減少測量時放氣的影響。 由于不同氣體分子的碰撞電離截面不同，因而電離真空規(guī)的測量值也與所測氣體種類有關。 薄膜真空規(guī) 薄膜式真空規(guī)是一種依靠薄膜在氣體壓力差下產(chǎn)生機械位移，可用于氣體絕對壓力測量，測量結果與氣體種類無關的真空規(guī)。 具有兩個被隔開的真空腔，當一個腔內(nèi)的壓力已知，另一個腔內(nèi)的壓力未知的情況下，薄膜的位移量與兩者的壓力差值成正比。 為提高測量的準確度，薄膜位移是靠測量薄膜與另一金屬電極間的電容 C1，的變化來實現(xiàn)的。
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