cqjaaa薄膜材料與薄膜技術復習資料-資料下載頁
2025-08-05 01:17本頁面
【正文】 互聚結成網狀結構，種結構中不規(guī)則分布著寬度為50~200A的溝渠，隨著沉積繼續(xù)，溝渠很快消失，薄膜變成小孔洞的連續(xù)狀結構，在小孔洞處將發(fā)生二次成核或三次成核，整個薄膜連成一片。連續(xù)薄膜：隨著沉積繼續(xù)進行，在溝渠和孔洞消除，再入射到基體表面的氣相原子便直接吸附在薄膜上，通過聯(lián)并作用而形成不同結構的薄膜。答：機制：當兩個島相互接觸時，在接觸點形成半徑為R的瓶頸，將產生一驅動力2б/R，使島的沉積原子通過體擴散和表面擴散遷移到瓶頸中，且表面擴散通量大于體擴散通量。驅動力由曲率半徑R決定，為2б/R。，及每類生長模式各自出現的條件及特點。答：島狀生長型，層生長型，層島生長型。島狀生長型：特點：到達襯底上的沉積原子首先凝聚成核，后續(xù)飛來的沉積原子不斷聚集在核附近，使核在三維方向上不斷長大而最終形成薄膜。條件：在襯底晶格和沉積膜晶格不相匹配（非共格）時或當核與吸附原子間的結合能大于吸附原子與基體的吸附能時，大部分薄膜形成過程屬于這種類型。層狀生長型：特點：沉積原子在襯底的表面以單原子層的形式均勻地覆蓋一層，然后再在三維方向上生長第二層、第三層條件：一般在襯底原子與沉積原子之間的鍵能大于沉積原子相互之間鍵能的情況下（共格）發(fā)生這種生長方式的生長。層島生長型：特點：生長機制介于島生長型和層生長型的中間狀態(tài)。條件：當襯底原子與沉積原子之間的鍵能大于沉積原子相互之間鍵能、隨后出現干擾層狀生長結合能特性單調減少因數的情況下（準共格）多發(fā)生這種生長方式的生長。第五章種類入射出射應用原理盧瑟福背散射（RBS）離子離子同位素分析二次離子質譜儀（SIMS）離子靶離子利用中性化率分析帶電情況及OH吸收情況 輕元素分析X射線光電子能譜（XPS）X射線電子元素價態(tài)俄歇電子能譜（AES）電子電子超薄層擴散深度分析電鏡中的顯微分析（EMA）電子X射線最常見的微分組分分析種類特征應用低能電子衍射（LEED）入射電子能量小于500eV 出射大約100eV原位監(jiān)測膜生長狀況MEED：中等能量電子衍射RHEED：反射高能電子衍射掠入射角X射線衍射（GIXS）入射角非常小用于薄層結構分析透射電子顯微鏡（電子衍射）用于薄膜（透明）分析能量損失譜（EELS）：主峰元素種類 主峰化學位移配位結構 精細結構鍵合情況擴展X射線吸收精細結構（EXAFS）：吸收線元素種類 精細結構鍵合情況辨析紅外吸收光譜與拉曼光譜①紅外吸收光譜：構成薄膜樣品分子振動的頻率一般從紅外延展到遠紅外，用紅外線照射薄膜樣品時，與樣品分子振動頻率相同的紅外線就會被分子共振吸收。每個分子都有確定的振動頻率，因此可用紅外光譜標識薄膜中所含分子并確立分子間的鍵合特征。拉曼光譜：可見光或紫外線照射在樣品上時，出來的散射光頻率會有稍許改變，這種改變乃是由分子振動引起的。因此可用拉曼光譜測定這種頻率的改變，從而分析和鑒別薄膜樣品中的化學組成和化學鍵合。②都是測定薄膜樣品中分子振動的。③對于具有對稱中心的分子振動，紅外不敏感，拉曼敏感；對于反對稱中心的分子振動，則紅外敏感拉曼不敏感。對于對稱性高的分子，拉曼敏感。辨析紅外吸收光譜與傅里葉變換紅外光譜（FTIR）①二者原理一致②傳統(tǒng)的紅外吸收光譜依賴于紅外光束通過格柵色散到單色元件中進行掃描。FTIR依賴于相干干涉儀
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