cqjaaa薄膜材料與薄膜技術(shù)復(fù)習(xí)資料-資料下載頁(yè)
2025-08-05 01:17本頁(yè)面
【正文】 互聚結(jié)成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，種結(jié)構(gòu)中不規(guī)則分布著寬度為50~200A的溝渠，隨著沉積繼續(xù)，溝渠很快消失，薄膜變成小孔洞的連續(xù)狀結(jié)構(gòu)，在小孔洞處將發(fā)生二次成核或三次成核，整個(gè)薄膜連成一片。連續(xù)薄膜：隨著沉積繼續(xù)進(jìn)行，在溝渠和孔洞消除，再入射到基體表面的氣相原子便直接吸附在薄膜上，通過(guò)聯(lián)并作用而形成不同結(jié)構(gòu)的薄膜。答：機(jī)制：當(dāng)兩個(gè)島相互接觸時(shí)，在接觸點(diǎn)形成半徑為R的瓶頸，將產(chǎn)生一驅(qū)動(dòng)力2б/R，使島的沉積原子通過(guò)體擴(kuò)散和表面擴(kuò)散遷移到瓶頸中，且表面擴(kuò)散通量大于體擴(kuò)散通量。驅(qū)動(dòng)力由曲率半徑R決定，為2б/R。，及每類(lèi)生長(zhǎng)模式各自出現(xiàn)的條件及特點(diǎn)。答：島狀生長(zhǎng)型，層生長(zhǎng)型，層島生長(zhǎng)型。島狀生長(zhǎng)型：特點(diǎn)：到達(dá)襯底上的沉積原子首先凝聚成核，后續(xù)飛來(lái)的沉積原子不斷聚集在核附近，使核在三維方向上不斷長(zhǎng)大而最終形成薄膜。條件：在襯底晶格和沉積膜晶格不相匹配（非共格）時(shí)或當(dāng)核與吸附原子間的結(jié)合能大于吸附原子與基體的吸附能時(shí)，大部分薄膜形成過(guò)程屬于這種類(lèi)型。層狀生長(zhǎng)型：特點(diǎn)：沉積原子在襯底的表面以單原子層的形式均勻地覆蓋一層，然后再在三維方向上生長(zhǎng)第二層、第三層條件：一般在襯底原子與沉積原子之間的鍵能大于沉積原子相互之間鍵能的情況下（共格）發(fā)生這種生長(zhǎng)方式的生長(zhǎng)。層島生長(zhǎng)型：特點(diǎn)：生長(zhǎng)機(jī)制介于島生長(zhǎng)型和層生長(zhǎng)型的中間狀態(tài)。條件：當(dāng)襯底原子與沉積原子之間的鍵能大于沉積原子相互之間鍵能、隨后出現(xiàn)干擾層狀生長(zhǎng)結(jié)合能特性單調(diào)減少因數(shù)的情況下（準(zhǔn)共格）多發(fā)生這種生長(zhǎng)方式的生長(zhǎng)。第五章種類(lèi)入射出射應(yīng)用原理盧瑟福背散射（RBS）離子離子同位素分析二次離子質(zhì)譜儀（SIMS）離子靶離子利用中性化率分析帶電情況及OH吸收情況 輕元素分析X射線(xiàn)光電子能譜（XPS）X射線(xiàn)電子元素價(jià)態(tài)俄歇電子能譜（AES）電子電子超薄層擴(kuò)散深度分析電鏡中的顯微分析（EMA）電子X(jué)射線(xiàn)最常見(jiàn)的微分組分分析種類(lèi)特征應(yīng)用低能電子衍射（LEED）入射電子能量小于500eV 出射大約100eV原位監(jiān)測(cè)膜生長(zhǎng)狀況MEED：中等能量電子衍射RHEED：反射高能電子衍射掠入射角X射線(xiàn)衍射（GIXS）入射角非常小用于薄層結(jié)構(gòu)分析透射電子顯微鏡（電子衍射）用于薄膜（透明）分析能量損失譜（EELS）：主峰元素種類(lèi) 主峰化學(xué)位移配位結(jié)構(gòu) 精細(xì)結(jié)構(gòu)鍵合情況擴(kuò)展X射線(xiàn)吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)（EXAFS）：吸收線(xiàn)元素種類(lèi) 精細(xì)結(jié)構(gòu)鍵合情況辨析紅外吸收光譜與拉曼光譜①紅外吸收光譜：構(gòu)成薄膜樣品分子振動(dòng)的頻率一般從紅外延展到遠(yuǎn)紅外，用紅外線(xiàn)照射薄膜樣品時(shí)，與樣品分子振動(dòng)頻率相同的紅外線(xiàn)就會(huì)被分子共振吸收。每個(gè)分子都有確定的振動(dòng)頻率，因此可用紅外光譜標(biāo)識(shí)薄膜中所含分子并確立分子間的鍵合特征。拉曼光譜：可見(jiàn)光或紫外線(xiàn)照射在樣品上時(shí)，出來(lái)的散射光頻率會(huì)有稍許改變，這種改變乃是由分子振動(dòng)引起的。因此可用拉曼光譜測(cè)定這種頻率的改變，從而分析和鑒別薄膜樣品中的化學(xué)組成和化學(xué)鍵合。②都是測(cè)定薄膜樣品中分子振動(dòng)的。③對(duì)于具有對(duì)稱(chēng)中心的分子振動(dòng)，紅外不敏感，拉曼敏感；對(duì)于反對(duì)稱(chēng)中心的分子振動(dòng)，則紅外敏感拉曼不敏感。對(duì)于對(duì)稱(chēng)性高的分子，拉曼敏感。辨析紅外吸收光譜與傅里葉變換紅外光譜（FTIR）①二者原理一致②傳統(tǒng)的紅外吸收光譜依賴(lài)于紅外光束通過(guò)格柵色散到單色元件中進(jìn)行掃描。FTIR依賴(lài)于相干干涉儀
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