【正文】
0013222222111111//110010/022,2421c o ss i ns i nc o sc o ss i ns i nc o snnBCYinnnininniCBiiiiBC?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 雙層增透膜 顯然,在中心波長處的反射率與單層膜相同。 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 雙層增透膜 012345400 450 500 550 600 650 700單層膜、 λ /4 λ /4 和 λ /2 λ /2 型雙層增透膜理論曲線% ReflectanceW a v e l e n g t h (n m )薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 三層增透膜 雙層增透膜的減反射性能比單層增透膜要優(yōu)越得,但它并沒有全部克服單層增透膜的兩個主要缺點( 1)剩余反射高;( 2)帶寬小。為了克服以上的缺點人們設(shè)計出了三層以及多層增透膜。對于 λ0/ 4 λ0/ 4 型的增透膜在中心波長處增透效果好但是帶寬較小, λ0/ 4 λ0/ 2型的增透膜在一定程度上展寬了帶寬但是總體的減反射效果不理想,人們想到將它們結(jié)合起來,設(shè)計出 λ0/4λ0/2λ0/4型增透膜,不僅提高了增透效果,而且展寬了帶寬。 總之,人們可以通過調(diào)整層數(shù)、厚度、材料來不斷的優(yōu)化設(shè)計,由于實際工作中 λ0/ 4的整數(shù)倍厚度容易控制,人們把全部由 λ0/ 4整數(shù)倍厚度組成的膜系稱為規(guī)整膜系,反之為非規(guī)整膜系。 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 012345400 450 500 550 600 650 700K9 基底上各種設(shè)計的增透膜理論曲線比較% ReflectanceW a v el e ng t h ( n m )01234540 0 50 0 60 0 70 0 80 0 90 0 10 00 11 00 12 00 13 00 14 00 15 00An t i r e f l e c t i o n c o a t i n g a t 5 3 2 n m amp。 1 0 6 4 n m% ReflectanceW av e l e ng th ( nm )G\.25453I\ .06773H\ .0459I\ .10938L\ .05389H \.08113L \.21788F \Air I: H: L: F: 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 高折射率基底材料的的減反射膜 在可見區(qū)應(yīng)用的大多數(shù)光學(xué)玻璃,通常在波長大于 3微米以后就不再透明.因此,在紅外區(qū)經(jīng)常采用某些特種玻璃和晶體材料特別是半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體有很高的折射率,例如硅約為 4。 這些半導(dǎo)體基片若不鍍增透膜,就不可能廣泛地使用.這個問題不同于可見區(qū),在可見區(qū),其目的是將大約 4%的反射損失減小到千分之幾,而在紅外區(qū),則是將 30%左右的反射損失減小為百分之幾。一般說在紅外區(qū)百分之幾的損失是允許的,因而低折射率基片通常很少鍍減反膜。紅外材料鍍膜從原理上講同可見是一致的,只不過材料的選擇余地較小。 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 使用增透膜的幾個注意事項 ?使用的波長范圍,單點還是寬光譜或一段光譜帶一點;例如可見區(qū) (420nm700nm),或紅外( 3700nm4800nm),或可見區(qū)加 1064nm等; ?剩余反射率指標;(平均或最大剩余反射率) ?使用角度或角度范圍; ?使用環(huán)境;(有無三防要求等) ?有無激光閾值要求; ?其它功能性要求