利達光電光學(xué)薄膜理論培訓(xùn)-資料下載頁
2025-01-11 20:57本頁面
【正文】 性能 八、現(xiàn)場產(chǎn)品的最常見疵病 ?點子 ?印子 ?擦痕（路子） ?分光特性不良 （一）點子 形成原因 坩堝架打掃太臟 ， 或打掃不徹底 膜料被污染 ， 或受潮 電子槍裝配不到位或由臟污 ， 有打火 、 電流不穩(wěn) 、 光斑能量分布不均等 離子源的柵極等處臟 ， 或裝配不到位 ， 有打火現(xiàn)象 坩堝變形 、 或冷卻水故障 ， 導(dǎo)致冷卻效果不好 鋁皮 、 防污板 、 蓋板等掉渣 工裝 、 盤等掉渣 晶控片不良 ， 導(dǎo)致速率波動過大 玻璃本身有點子 、 超洗后遺留有臟 工房潔凈度太差 ， 其中懸浮的臟污顆粒太多 （二）印子 形成原因 清洗不干凈留下的水跡 、 IPA跡 、 污漬 基底本身有腐蝕 ， 或拋光不良 髙閥返油 、 真空度太低等 ， 造成膜層不牢 環(huán)境濕度長時間大于 80%， 導(dǎo)致零件表面會形成水膜 （三）擦痕（路子） 形成原因 震盤 ， 導(dǎo)致玻璃滑動 、 下玻璃時 ， 玻璃滑到一起 、 或掉落 插框時 ， 玻璃掉落 、 插框用力過大 、 或玻璃之間有接觸 測曲線時 ， 玻璃被樣品架劃傷 （四）分光特性不良 形成原因 鍍膜機干凈程度 、 冷熱程度等不同 ， 導(dǎo)致 抽氣速率發(fā)生 變化 ， 導(dǎo)致 曲線變形或前后移動 膜料是否受潮 膜料多少 、 壓實程度 修正板用錯 、 變形 、 裝配位置偏等 電子槍裝配不到位 ， 導(dǎo)致光斑偏 、 或能量分布發(fā)生變化 離子源三個柵極之間沒裝好 ， 或整體裝偏 溫度模式用錯 、 或者沒加熱 膜系設(shè)計容差太小 九、膜系設(shè)計相關(guān) —— AR ： ① 寬帶增透膜的帶寬要求有至少 20nm的余量； ② 反射率至少小于要求 %； ③ 在 1%的光學(xué)厚度誤差范圍內(nèi)，特性不應(yīng)有大的超出規(guī)格要求的變化。 ： ① 盡量保證在帶寬范圍內(nèi)只有一個波峰； ② 零件凸面膜系易整體前移，凹面易整體后移； ③ 為在誤差范圍內(nèi)可控，各層厚度不易太薄。 ① 狀態(tài)穩(wěn)定的機器； ② 現(xiàn)有膜系的精確測量曲線； ③ 對測量曲線的精確模擬。 ： ① 各膜層不同的厚度組合可以模擬出相近的曲線； ② 模擬的帶寬和反射率與測量值有所差異； ③ 注意膜料折射率的影響。 ? 關(guān)于膜厚計算的公式 : 光學(xué)厚度 =物理厚度 折射率 膜厚比 =零件膜層厚度 /監(jiān)控厚度 ? 常用的膜系設(shè)計軟件： CJH、 ZXCJ、 Macleod等 6. 膜系調(diào)整的原則： ① 保證鍍膜機工作正常 ② 盡可能少的調(diào)整膜層層數(shù)和膜層厚度 ③ 采取循序漸進的方法 ④ 要精確的測量出零件膜特性曲線 ⑤ 要較精確的模擬出膜特性曲線 6. 膜系調(diào)整的原則： ★保證鍍膜機工作正常 ★盡可能少的調(diào)整膜層層數(shù)和膜層厚度 ★采取循序漸進的方法 ★要精確的測量出零件膜特性曲線 ★要較精確的模擬出膜特性曲線 7. 5層非標準寬帶增透膜的調(diào)整： 第一層對帶寬的影響較大 第二層對兩個波峰有影響 第三層影響 400440nm處的反射率 第四層影響曲線的整體前后漂移 第五層影響著曲線的上下漂移 曲線的整體前后平移是各層膜厚按相同比例變化的結(jié)果 無色光學(xué)玻璃可以分為兩類： ? 冕牌玻璃 K帶頭的玻璃，折射率 n較小，色散系數(shù)大，可分為氟冕（ FK）、磷冕（ PK）、輕冕（ QK）、鋇冕（ BaK）、重冕（ ZK）、鑭冕（ LaK）、特冕（ TK）等； ? 火石玻璃 F帶頭的玻璃，折射率 n較大。色散系數(shù)大，可分為冕火石（ KF）、輕火石（ QF）、鋇火石（BaF）、重火石（ ZF）、鑭 H火石（ LaF）等。 ? 共有 160多種之多。 56 謝謝大家的參與??！
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